[发明专利]紧凑型高频电聚焦混合加速腔

权利要求书

1.一种紧凑型高频电聚焦混合加速腔，其特征在于包括有在腔筒内，在漂移管加速与高频电四极聚焦加速结构的前端设有射频四极加速结构，在漂移管加速与高频电四极聚焦加速结构的中心设有第二加速间隙，射频四极加速结构的中心设有第一加速间隙，第一加速间隙与第二加速间隙在同一条中心线上，第一加速间隙比第二加速间隙的半径小0-5mm。

2.如权利要求1所述的紧凑型高频电聚焦混合加速腔，其特征在于还包括有在射频四极加速结构内设有互为垂直的四个第一电极板，电极板的端面设有正弦或T型的电极调制线；调制线横截面为双曲线型，相对第一电极板之间的最小半径为2.5-5mm,最大半径为4-30mm。

3.如权利要求1所述的紧凑型高频电聚焦混合加速腔，其特征在于还包括有所述的漂移管加速与高频电四极聚焦加速结构内设有互为垂直的四个第二电极板。

4.如权利要求1所述的紧凑型高频电聚焦混合加速腔，其特征在于还包括有所述的漂移管加速与高频电四极聚焦加速结构内设有多个漂移管，通过漂移管支撑杆固连于相对两个第二电极板之间，高频电四极透镜分布于漂移管之间；多个漂移管、高频电四极透镜与第二加速间隙在同一个中心线上；垂直高频电四极透镜相向设于漂移管之间，并固连于两个垂直的第二电极板之间；水平高频电四极透镜相向设于漂移管之间，并固连于两个水平的第二电极板之间。

5.如权利要求1所述的紧凑型高频电聚焦混合加速腔，其特征在于所述的第一加速间隙与第二加速间隙的真空度为10^-5-10^-7Pa。

6.如权利要求1所述的紧凑型高频电聚焦混合加速腔，其特征在于所述的相邻的漂移管支撑杆互为垂直设置。

7.如权利要求1所述的紧凑型高频电聚焦混合加速腔，其特征在于所述的垂直高频电四极透镜端面为平直段，横截面为双曲线型，相对的第二电极板的距离为5-40mm。

8.如权利要求1所述的紧凑型高频电聚焦混合加速腔，其特征在于所述的漂移管的长度为5-100mm；内径为5-50mm，相邻两个漂移管之间的加速间隙距离为5-50mm。

9.如权利要求1所述的紧凑型高频电聚焦混合加速腔，其特征在于所述的高频电四极透镜与相邻的漂移管之间的距离为5-50mm。

10.如权利要求1所述的紧凑型高频电聚焦混合加速腔，其特征在于所述的腔筒、电极板、漂移管和高频电四极透镜的材料为金属铜或者不锈钢镀铜。