[发明专利]一种无氰碱铜电镀组合物及其制备方法

权利要求书

1.一种无氰碱铜电镀组合物，其特征在于，1L所述的无氰碱铜电镀组合物的制备原料包括：二价铜离子：15～17g；柠檬酸：185～195g；酒石酸钾钠：50～60g；硝酸钾：5～6.5g；1,2-环己二胺四乙酸：0.5～1g；润湿剂：0.2～0.3g；光亮剂：1.2～1.6g；整平剂：0.1～0.15g；去离子水加至1L；所述的整平剂为(1,2-苯并异噻唑啉-3-酮)-丙炔。

2.如权利要求1所述的无氰碱铜电镀组合物，其特征在于，所述的二价铜离子由碱式碳酸铜、氯化铜、溴化铜、8-羟基喹啉铜、乙二胺四乙酸铜、柠檬酸铜、硫酸铜、硝酸铜、乙酸铜、葡萄糖酸铜、乙酰丙酮酸铜、酒石酸铜、二乙基二硫代氨基甲酸铜、草酸铜中的任一种或多种提供。

3.如权利要求1所述的无氰碱铜电镀组合物，其特征在于，所述的润湿剂选自聚乙二醇1000、聚乙二醇4000、聚乙二醇6000、聚乙二醇8000、十四烷基甜菜碱、十六烷基甜菜碱、十二烷基羟基磺基甜菜碱中的任一种或多种。

4.如权利要求1所述的无氰碱铜电镀组合物，其特征在于，所述的光亮剂选自二氧化硒、乙二胺四乙酸、1,4-丁炔二醇、亚甲基二磺酸、硫脲、硫氰化钾、三乙醇胺、丙烯基硫脲、2-巯基苯并咪唑、2-巯基苯并噻唑、苯并三氮唑、聚乙烯亚胺、乙基己基硫酸钠中的任一种或多种。

5.如权利要求1所述的无氰碱铜电镀组合物，其特征在于，所述的整平剂为季铵化的(1,2-苯并异噻唑啉-3-酮)-丙炔，其结构式为X选自F、Cl、Br、I中的任一种。

6.如权利要求1所述的无氰碱铜电镀组合物，其特征在于，所述的无氰碱铜电镀组合物的制备原料还包括环糊精。

7.如权利要求6所述的无氰碱铜电镀组合物，其特征在于，所述的环糊精选自α-环糊精、β-环糊精、γ-环糊精中的任一种。

8.如权利要求1所述的无氰碱铜电镀组合物，其特征在于，其使用温度为30～50℃。

9.如权利要求1～8任一项所述的无氰碱铜电镀组合物的制备方法，其特征在于，至少包括以下步骤：

取700mL去离子水，加入柠檬酸、酒石酸钾钠、1,2-环己二胺四乙酸，搅拌溶解后，加入提供二价铜离子的盐，在50～60℃下搅拌1h；然后加入硝酸钾，搅拌溶解，用氢氧化钾和碳酸氢钠调节pH至9.5～10.5；然后加入润湿剂、光亮剂、整平剂，搅拌溶解，加入去离子水定容至1L。