[发明专利]一种维持中频等离子电源MOS管电压均衡的驱动电路

权利要求书

1.一种维持中频等离子电源MOS管电压均衡的驱动电路，其特征在于，包括脉冲变换模块、脉冲隔离变压器驱动模块；所述脉冲变换模块包括电压输入单元、脉冲输出单元；所述脉冲隔离变压器驱动模块包括控制电压输入单元、脉冲输入单元、驱动电压输出单元；所述电压输入单元接收输入电压，所述输入电压经过所述脉冲变换模块变换成脉冲信号，所述脉冲输出单元与所述脉冲隔离变压器驱动模块的脉冲输入单元相连，所述脉冲输出单元输出的脉冲信号作为所述脉冲输入单元的输入信号；所述控制电压输入单元接收控制电压，所述控制电压和所述脉冲输入模块接收的脉冲信号输入所述脉冲隔离变压器驱动模块后，转换成驱动电压，由所述驱动电压输出单元输出。

2.如权利要求1所述的维持中频等离子电源MOS管电压均衡的驱动电路，其特征在于，所述脉冲信号为导通脉冲或关断脉冲。

3.如权利要求1所述的维持中频等离子电源MOS管电压均衡的驱动电路，其特征在于，所述脉冲变换模块的电压输入单元输入的电压为矩形波电压。

4.如权利要求1所述的维持中频等离子电源MOS管电压均衡的驱动电路，其特征在于，所述脉冲变换模块的脉冲输出单元有两个，输出的脉冲分别对应于所述矩形波电压的上升沿和下降沿。

5.如权利要求4所述的维持中频等离子电源MOS管电压均衡的驱动电路，其特征在于，所述脉冲信号为导通脉冲或关断脉冲，对应于矩形波电压的上升沿输出的脉冲为导通脉冲，对应于矩形波电压的下降沿输出的脉冲为关断脉冲。

6.如权利要求1所述的维持中频等离子电源MOS管电压均衡的驱动电路，其特征在于，所述控制电压为导通控制电压或关断控制电压。

7.如权利要求1所述的维持中频等离子电源MOS管电压均衡的驱动电路，其特征在于，所述驱动电压为导通电压或关断电压。

8.如权利要求1所述的维持中频等离子电源MOS管电压均衡的驱动电路，其特征在于，所述脉冲隔离变压器驱动模块有两个，分别为脉冲隔离变压器驱动模块1和脉冲隔离变压器驱动模块2，所述脉冲隔离变压器驱动模块1的脉冲输入单元接收所述导通脉冲，所述脉冲隔离变压器驱动模块1的控制电压输入单元接收所述导通控制电压，所述脉冲隔离变压器驱动模块1的驱动电压输出单元输出导通电压；所述脉冲隔离变压器驱动模块2的脉冲输入单元接收所述关断脉冲，所述脉冲隔离变压器驱动模块2的控制电压输入单元接收所述关断控制电压，所述脉冲隔离变压器驱动模块1的驱动电压输出单元输出所述关断电压。

9.如权利要求1所述的维持中频等离子电源MOS管电压均衡的驱动电路，其特征在于，所述脉冲变换模块还包括反向施密特触发器、与非施密特触发器。

10.如权利要求1所述的维持中频等离子电源MOS管电压均衡的驱动电路，其特征在于，所述脉冲隔离变压器驱动模块还包括反向施密特触发器、信号放大单元。