[发明专利]用于高真空室和高气压室转接的高电压电极法兰在审
申请号: | 201710949945.1 | 申请日: | 2017-10-13 |
公开(公告)号: | CN107580405A | 公开(公告)日: | 2018-01-12 |
发明(设计)人: | 孙玄;霍昆;王彦鹏;林木楠 | 申请(专利权)人: | 中国科学技术大学 |
主分类号: | H05H7/14 | 分类号: | H05H7/14 |
代理公司: | 北京科迪生专利代理有限责任公司11251 | 代理人: | 杨学明,邓治平 |
地址: | 230026 安*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 用于 真空 气压 转接 电压 电极 法兰 | ||
1.用于高真空室和高气压室转接的高电压电极法兰,其特征在于:包括不锈钢法兰筒(7)、灌封环氧树脂绝缘体(5)、绝缘陶瓷体(1)和无氧铜电极(4),所述的不锈钢法兰筒(7)一个端面的高气压端法兰螺丝孔(2),用于与高气压室进行密封连接,另一个端面的高真空端法兰螺丝孔(3),用于与高真空室进行密封连接,灌封环氧树脂绝缘体(5)连接绝缘陶瓷体(1)和不锈钢法兰筒(7)的内部界面,其中灌封环氧树脂绝缘体(5)的灌封深度是不锈钢法兰筒(7)内部深度的0.5~0.9倍,所述的绝缘陶瓷体(1)与不锈钢法兰筒(7)高真空端法兰面的通孔密封连接,绝缘陶瓷体(1)的外圆柱面直径是不锈钢法兰筒(7)内部中空圆柱筒面直径的0.5~0.6倍,所述的无氧铜电极(4)密封连接于绝缘陶瓷体(1)内部,并且无氧铜电极(4)为圆柱体,所述的不锈钢法兰筒(7)、灌封环氧树脂绝缘体(5)、绝缘陶瓷体(1)和无氧铜电极(4)构成同轴对称结构。
2.根据权利要求1所述的用于高真空室和高气压室转接的高电压电极法兰,其特征在于:不锈钢法兰筒(7)两个端面的法兰连接面有刀口,可以降低高真空室和高气压室的泄露率。
3.根据权利要求1所述的用于高真空室和高气压室转接的高电压电极法兰,其特征在于:绝缘陶瓷体(1)的两端均加工有第一防爬电环(101)和第二防爬电环(102),并且第一防爬电环(101)厚度大于第二防爬电环(102)厚度;
所述的绝缘陶瓷体(1)的长度大于密封连接在其内部的无氧铜电极(4)的长度,并且无氧铜电极(4)的任意一端都距离最近的绝缘陶瓷体(1)端口5cm以上。
4.根据权利要求1所述的用于高真空室和高气压室转接的高电压电极法兰,其特征在于:无氧铜电极(4)的两端分别有一个香蕉插口,无氧铜电极(4)不是中空结构;
所述的无氧铜电极(4)的一端与绝缘陶瓷体(1)接触高气压室的一端密封连接,无氧铜电极(4)的另一端悬浮于绝缘陶瓷体(1)的内部;
所述的无氧铜电极(4)的高气压端电极接口(402)用于从高气压室中馈入20~130KV的直流高压,而无氧铜电极(4)的高真空端电极接口(401)作为加速器电极的引入电压接口。
5.根据权利要求1所述的用于高真空室和高气压室转接的高电压电极法兰,其特征在于:不锈钢法兰筒(7)的高气压端法兰连接的高气压室中充满的气体介质可以是如下三种气体中任一或者其任意混合:纯净空气、N2、SF6,高气压室压强值范围为0.2~0.4MPa。
6.根据权利要求1所述的用于高真空室和高气压室转接的高电压电极法兰,其特征在于:不锈钢法兰筒(7)的高真空端法兰连接的高真空室的真空度范围为:10-2~10-5Pa。
7.根据权利要求1所述的用于高真空室和高气压室转接的高电压电极法兰,其特征在于:不锈钢法兰筒(7)与绝缘陶瓷体(1)的密封连接处涂抹有聚四氟乙烯胶(PTFE)(6),用于增强密封性。
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