[发明专利]光学量测装置

权利要求书

1.一种光学量测装置，用以量测一光源发射的一光束，其特征在于，该光学量测装置包含：

一收光元件，用以接收该光束；

至少四感光元件，用以同时分别感测该光束的不同的光路距离的光场，其中该四感光元件至该光源之间的所述光路距离皆不同；

一分光装置，用以将通过该收光元件的该光束分束并分别导引至所述感光元件；以及

多个透镜，置于所述四感光元件与该收光元件之间且分别置于该分光装置与所述四感光元件之间，所述多个透镜与该收光元件之间的光路距离皆相同，所述多个透镜用以将通过该收光元件的该光束分别成像于所述至少四感光元件上，其中三所述感光元件置于所述光源的所述光束通过所述收光元件与所述透镜后的成像端的瑞利长度的长度范围内，并且其中一所述感光元件置于所述光源的所述光束通过所述收光元件与所述透镜后的成像端的瑞利长度的长度范围外；

其中，该光学量测装置依据该四感光元件的量测值计算该光束的光学特性参数。

2.根据权利要求1所述的光学量测装置，其特征在于，所述感光元件包含一第一感光元件、一第二感光元件、一第三感光元件与一第四感光元件，且该分光装置包含：

一第一分光元件，用以将通过该收光元件的该光束分束为一第一子光束与一第二子光束；

一第二分光元件，用以将该第一子光束分束为一第三子光束与一第四子光束，并分别将该第三子光束与该第四子光束导引至该第一感光元件与该第二感光元件；以及

一第三分光元件，用以将该第二子光束分束为一第五子光束与一第六子光束，并分别将该第五子光束与该第六子光束导引至该第三感光元件与该第四感光元件。

3.根据权利要求2所述的光学量测装置，其特征在于，该第二分光元件与该第三分光元件分别位于该第一分光元件的不同侧。

4.根据权利要求1所述的光学量测装置，其特征在于，所述感光元件包含一第一感光元件、一第二感光元件、一第三感光元件与一第四感光元件，且该分光装置包含：

一第一分光元件，用以将通过该收光元件的该光束分束为一第一子光束与一第二子光束，并将该第一子光束导引至该第一感光元件；

一第二分光元件，用以将该第二子光束分束为一第三子光束与一第四子光束，并将该第三子光束导引至该第二感光元件；以及

一第三分光元件，用以将该第四子光束分束为一第五子光束与一第六子光束，并分别将该第五子光束与该第六子光束导引至该第三感光元件与该第四感光元件。

5.根据权利要求4所述的光学量测装置，其特征在于，该第一分光元件、该第二分光元件与该第三分光元件沿一直线排列。