[发明专利]一种带叉指的同心圆状MEMS低电导率传感器及使用方法有效
| 申请号： | 201710946611.9 | 申请日： | 2017-10-12 |
| 公开（公告）号： | CN107576854B | 公开（公告）日： | 2020-04-03 |
| 发明（设计）人： | 刘海韵;张振;陈嘉琪 | 申请（专利权）人： | 河海大学 |
| 主分类号： | G01R27/22 | 分类号： | G01R27/22 |
| 代理公司： | 南京纵横知识产权代理有限公司 32224 | 代理人： | 董建林 |
| 地址： | 211100 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 带叉指 同心圆 mems 电导率 传感器 使用方法 | ||
1.一种带叉指的同心圆状MEMS低电导率传感器，其特征是：包括绝缘衬底(1)、中心圆形电极(201)、带叉指的环形电极以及环形屏蔽电极(204)：
所述中心圆形电极(201)、带叉指的环形电极以及环形屏蔽电极(204)从内到外依次同心设置于绝缘衬底(1)的同一表面；
所述中心圆形电极(201)、带叉指的环形电极及环形屏蔽电极(204)在相同位置均设通过片上引线连接相应的金属焊盘；
所述带叉指的环形电极分为内侧测量环(202)和外侧测量环(203)；
所述内侧测量环(202)和外侧测量环(203)均设有环形主干部分与叉指枝干部分；
所述内侧测量环(202)和外侧测量环(203)的叉指枝干部分在环形主干部分之间相互交错嵌套。
2.根据权利要求1所述的一种带叉指的同心圆状MEMS低电导率传感器，其特征是：所述绝缘衬底(1)为硅基材料制成，所述绝缘衬底(1)的电极连接面设有二氧化硅绝缘层。
3.根据权利要求1所述的一种带叉指的同心圆状MEMS低电导率传感器，其特征是：所述电极、片上引线、金属焊盘均由表面镀金的镍材料经金属微加工工艺制成。
4.根据权利要求1所述的一种带叉指的同心圆状MEMS低电导率传感器，其特征是：所述环形屏蔽电极(204)通过环形屏蔽电极金属焊盘(304)接地；所述中心圆形电极(201)通过中心圆形电极金属焊盘(301)连接信号源；所述内侧测量环(202)和外侧测量环(203)均通过金属焊盘与电压表连接。
5.一种根据权利要求1-4任意一项所述的带叉指的同心圆状MEMS低电导率传感器的使用方法，其特征是：先将上述带叉指的同心圆状MEMS低电导率传感器放入待测液体中，再将环形屏蔽电极(204)接地，然后启动信号源发出交流激励电流信号I，电流信号I传导至中心圆形电极(201)，然后测量内侧测量环(202)和外侧测量环(203)的电压V，在测量时，需通过运放反馈电路保持测量电压的幅值，通过如下公式得出所测水体的电导率：
式中，K为电导池常数。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于河海大学，未经河海大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201710946611.9/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种高静压下液电脉冲激波强度的获取方法
- 下一篇：一种结晶器盖板的密封装置
