[发明专利]衍射光学元件监测控制装置及方法

权利要求书

1.一种衍射光学元件监测控制装置，其特征在于，包括：

衍射光学元件(DOE)，由至少一片透明基片刻蚀而成，用于衍射入射光源发出的光束；

透明导电薄膜，附于所述衍射光学元件的表面，具有电阻属性；

监测控制单元，与所述透明导电薄膜电连接，用于监测所述透明导电薄膜两端的电压信号/电流信号/电阻信号，以判断所述衍射光学元件的完整性并进行相应的安全控制。

2.如权利要求1所述的衍射光学元件监测控制装置，其特征在于，所述监测控制单元中预设了安全阈值区间，当所述透明导电薄膜两端的电压信号/电流信号/电阻信号超过所述安全阈值区间时，所述监测控制单元进行相应的安全控制。

3.如权利要求2所述的衍射光学元件监测控制装置，其特征在于，所述安全控制包括发出所述衍射光学元件损坏的风险提示信息或关闭所述入射光源或者降低所述入射光源的发光功率。

4.如权利要求2或3所述的衍射光学元件监测控制装置，其特征在于，所述监测控制单元包括：

恒定电流源，向所述透明导电薄膜提供恒定电流；

电压计，实时获取所述透明导电薄膜两端的电压信号并反馈给处理器；

所述处理器通过比较算法，判断所述透明导电薄膜两端的电压信号是否超出所述安全阈值区间。

5.如权利要求4所述的衍射光学元件监测控制装置，其特征在于，如果所述透明导电薄膜两端的电压信号在所述安全阈值区间内，则所述电压计继续实时获取所述透明导电薄膜两端的电压信号并反馈给处理器；如果所述透明导电薄膜两端的电压信号超出所述安全阈值区间，则所述处理器进行相应的安全控制。

6.如权利要求2或3所述的衍射光学元件监测控制装置，其特征在于，所述监测控制单元包括：

恒定电压源，向所述透明导电薄膜提供恒定电压；

电流计，实时获取所述透明导电薄膜两端的电流信号并反馈给处理器；

所述处理器通过比较算法，判断所述透明导电薄膜两端的电流信号是否超出所述安全阈值区间。

7.如权利要求6所述的衍射光学元件监测控制装置，其特征在于，如果所述透明导电薄膜两端的电流信号在所述安全阈值区间内，则所述电流计继续实时获取所述透明导电薄膜两端的电流信号并反馈给处理器；如果所述透明导电薄膜两端的电流信号超出所述安全阈值区间，则所述处理器进行相应的安全控制。

8.如权利要求2或3所述的衍射光学元件监测控制装置，其特征在于，所述监测控制单元包括：

电阻测量仪，实时获取所述透明导电薄膜两端的电阻信号并反馈给处理器；

所述处理器通过比较算法，判断所述透明导电薄膜两端的电阻信号是否超出所述安全阈值区间。

9.如权利要求8所述的衍射光学元件监测控制装置，其特征在于，如果所述透明导电薄膜两端的电阻信号在预设的安全阈值区间内，则所述电阻测量仪继续实时获取所述透明导电薄膜两端的电阻信号并反馈给处理器；如果所述透明导电薄膜两端的电阻信号超出了预设的安全阈值区间，则所述处理器进行相应的安全控制。

10.一种衍射光学元件监测控制方法，其特征在于，包括以下步骤：

在衍射光学元件(DOE)的表面镀上具有电阻属性的透明导电薄膜，所述衍射光学元件由至少一片透明基片刻蚀而成，并且所述透明基片的上表面和/或下表面刻有衍射光栅，用于衍射入射光源发出的光束；

通过监测控制单元实时监测所述透明导电薄膜两端的电压信号/电流信号/电阻信号，来判断所述衍射光学元件的完整性并进行相应的安全控制。