[发明专利]一种差分离子迁移谱与高场不对称波形离子迁移谱联用装置

权利要求书

1.一种差分离子迁移谱与高场不对称波形离子迁移谱联用装置，其特征在于：包括差分离子迁移谱（10）、高场不对称波形离子迁移谱（20）以及连通两者的接口装置（30），所述的差分离子迁移谱（10）包括第一基板（11），差分离子迁移谱（10）的内部设有相通的离化区及离子选择区，所述的离化区设有供载气（40）进入的第一进气口（12），且离化区内设有离子源（13），所述的离子源（13）固定在离子源基板（14）上，所述的离子选择区设有供鞘气（50）进入的第二进气口（15）以及用于排气的第一尾气口（16），且离子选择区内设有第一离子选择电极（17）及第二离子选择电极（18），所述的高场不对称波形离子迁移谱（20）包括第二基板（21），所述的第二基板（21）上设有供迁移气（60）进入的第三进气口（22）以及用于排气的第二尾气口（23），所述高场不对称波形离子迁移谱（20）内设置有第一离子分离电极（24）、第二离子分离电极（25）、弱电流检测电极（26）、与弱电流检测电极（26）相连的弱电流探测器（27）以及偏置电极（28），所述的接口装置（30）由固定在第一基板（11）表面的第一牵引电极（31）以及固定第二基板（21）表面的第二牵引电极（32）组成。

2.根据权利要求1所述的差分离子迁移谱与高场不对称波形离子迁移谱联用装置，其特征在于：所述的第一离子选择电极（17）及第二离子选择电极（18）与直流扫描电压相连，所述的第一离子分离电极（24）与高频电压相连，所述的第二离子分离电极（25）与直流扫描电压相连，所述的偏置电极（28）与直流电压相连。

3.根据权利要求1所述的差分离子迁移谱与高场不对称波形离子迁移谱联用装置，其特征在于：所述的第一基板（11）采用氧化铝陶瓷制成，所述的第一离子选择电极（17）、第二离子选择电极（18）及第一牵引电极（31）采用厚膜工艺方法印刷银浆制成。

4.根据权利要求1所述的差分离子迁移谱与高场不对称波形离子迁移谱联用装置，其特征在于：所述的第二基板（21）采用硼硅玻璃制成，所述的第二牵引电极（32）、第一离子分离电极（24）及第二离子分离电极（25）采用磁控溅射金靶材制成。

5.根据权利要求1所述的差分离子迁移谱与高场不对称波形离子迁移谱联用装置，其特征在于：所述的载气（40）、鞘气（50）及迁移气（60）分别与气泵相连。