[发明专利]超低温制冷机

说明书

本发明提供一种能够减少强磁场环境给超低温制冷机的电磁马达带来的影响的技术。超低温制冷机具备：压力控制阀；阀壳体(73)，容纳压力控制阀；马达(31)，具备马达输出轴(31b)；减速机构(6)，以能够传递动力的方式将马达输出轴(31b)连接于压力控制阀；磁屏蔽外壳(71)，包围马达(31)，并且磁屏蔽外壳(71)与阀壳体(73)气密地连接。马达(31)可以具备马达外壳(31a)，马达输出轴(31b)从马达外壳(31a)突出。磁屏蔽外壳(71)可以在马达外壳(31a)的外侧包围马达(31)。

本申请主张基于2016年10月3日申请的日本专利申请第2016-195867号的优先权。该日本申请的全部内容通过参考援用于本说明书中。

技术领域

本发明涉及一种超低温制冷机。

背景技术

以吉福德-麦克马洪(Gifford-McMahon；GM)制冷机为代表的超低温制冷机具备用于控制膨胀室的压力的阀。这种压力控制阀构成为交替切换向膨胀室供给高压制冷剂气体与从膨胀室回收低压制冷剂气体。在超低温制冷机设置有用于驱动压力控制阀的电磁马达。

专利文献1：日本特开2005-160277号公报

超低温制冷机有时在强磁场环境下使用。超低温制冷机例如为了冷却用于产生强磁场的超导电线圈而使用。

发明内容

本发明的一种实施方式的例示性目的之一在于，提供一种能够减少强磁场环境给超低温制冷机的电磁马达带来的影响的技术。

根据本发明的一种实施方式，超低温制冷机具备：压力控制阀；阀壳体，容纳所述压力控制阀；电磁马达，具备马达外壳及从该马达外壳突出的马达输出轴；减速机构，以能够传递动力的方式将所述马达输出轴连接于所述压力控制阀；及磁屏蔽外壳，在所述马达外壳的外侧包围所述电磁马达，并且所述磁屏蔽外壳与所述阀壳体气密地连接。

根据本发明的一种实施方式，超低温制冷机具备:压力控制阀；阀壳体，容纳所述压力控制阀；电磁马达，具备马达输出轴；减速机构，以能够传递动力的方式将所述马达输出轴连接于所述压力控制阀；磁屏蔽外壳，包围所述电磁马达，并且所述磁屏蔽外壳与所述阀壳体气密地连接。

根据本发明，能够提供一种减少强磁场环境给超低温制冷机的电磁马达带来的影响的技术。

附图说明

图1为概略地表示实施方式所涉及的超低温制冷机的内部结构的图。

图2为概略地表示实施方式所涉及的超低温制冷机的驱动部的分解立体图。

图3为概略地表示实施方式所涉及的超低温制冷机的驱动部的分解立体图。

图4为概略地表示可使用于实施方式所涉及的超低温制冷机的减速机的一例的内部结构的图。

图5为放大表示实施方式所涉及的超低温制冷机的驱动部的一部分的概略分解立体图。

图6为放大表示可使用于实施方式所涉及的超低温制冷机的阀部的一例的概略分解立体图。

图7为概略地表示其他实施方式所涉及的超低温制冷机的内部结构的图。

图中：3-驱动部壳体，4-气密容器，6-减速机构，10-GM制冷机，31-马达，31a-马达外壳，31b-马达输出轴，64-小齿轮，65-传动皮带，66-减速齿轮，71-磁屏蔽外壳，72-减速机外壳，72a-减速机外壳主体，72b-磁屏蔽部件，73-阀壳体，74-第一密封部，76-第二密封部，79、80-贯穿孔。

具体实施方式

以下，参考附图对本发明的实施方式进行详细说明。另外，在以下说明中，对相同要件标注相同的符号，并适当省略重复说明。并且，以下所述的结构为示例，并不对本发明的范围作任何限定。