[发明专利]环保型硅片清洗装置

权利要求书

1.一种环保型硅片清洗装置，其特征在于：包括支架、清洗槽、表面开有孔洞的转筒，清洗槽设置在支架上，清洗槽内设有转筒，清洗槽下方设有电机，电机输出端连接转轴，转轴延伸至清洗槽内，转轴与转筒连接，所述转筒内壁上设有若干个硅片存放装置，所述清洗槽上端设有进水管，清洗槽内设有温度传感器、加热装置、超声波发生器，清洗槽外侧设有控制器，温度传感器、加热装置分别与控制器连接，所述清洗槽底部连接出水管，出水管下端连接净化装置，净化装置下端连接排水管，硅片存放装置外侧设有电动马达，硅片存放装置内设有刷毛。

2.按照权利要求1所述的环保型硅片清洗装置，其特征在于：所述加热装置为加热管。

3.按照权利要求1所述的环保型硅片清洗装置，其特征在于：所述电机为正反转电机。

4.按照权利要求1所述的环保型硅片清洗装置，其特征在于：所述净化装置由上至下依次包括过滤层、分解层、杀菌层。