[发明专利]反射式光学压力传感器

权利要求书

1.一种反射式光学压力传感器，其特征在于，包括光源发射器、透镜、分束装置、第一光强探测器、第二光强探测器及检测单元，检测单元包括从上到下依次贴合的玻璃片、二氧化硅小球层、石榴石、用磁控溅射法在石榴石生长的铝薄膜及最后一层两端通电的石墨；

激光发射器输出的激光通过透镜聚焦输出再经分束装置分束，一束反射被第一光强探测器直接接收，另一束透射进入检测单元，入射光斜入射到检测单元的玻璃片上，穿透玻璃片后依次穿过二氧化硅小球层和石榴石后，被石榴石背面的铝薄膜反射，反射光再经过石榴石、二氧化硅小球层，从玻璃片输出，反射光输出后被第二光强测器接收；

检测单元的石墨通电电压的变化致使检测单元中的二氧化硅小球层受热发生形变从而引起检测单元反射光光强发生变化，通过比较两个光强探测器的前后光强变化关系即可获得压力参数。

2.根据权利要求1所述反射式光学压力传感器，其特征在于，所述激光发射器作为光源单元用于提供全偏振光，其波长300nm～1800nm。

3.根据权利要求1所述反射式光学压力传感器，其特征在于，所述二氧化硅小球层中二氧化硅小球的直径为10nm～10μm。

4.根据权利要求1所述反射式光学压力传感器，其特征在于，所述石榴石上的铝薄膜厚度为10nm～20μm。

5.根据权利要求1至4任意一项所述反射式光学压力传感器，其特征在于，所述检测单元入射光与反射光的夹角为10°至150°。