[发明专利]液体喷射头、液体喷射头的制造方法以及液体喷射装置

权利要求书

1.一种液体喷射头，其特征在于，具备：

促动器板，其具有被填充液体的通道；

副板，其层叠于所述促动器板之中液体流通方向上的所述通道的下游开口面，并且形成有与所述通道内连通的连通路径；以及

喷射孔板，其层叠于所述副板之中所述流通方向上的所述连通路径的下游开口面，且具有通过所述连通路径与所述通道内连通的喷射孔，

所述副板中的所述下游开口面为研磨面。

2.根据权利要求1所述的液体喷射头，其特征在于，

所述促动器板以及所述副板构成芯片模块，

所述芯片模块排列有多个，

所述喷射孔板一起接合于多个所述芯片模块的所述副板的所述下游开口面。

3.根据权利要求1或权利要求2所述的液体喷射头，其特征在于，

从液体供给源对所述通道供给液体，

所述副板是返回板，其使所述连通路径为连通于所述通道内以及所述喷射孔内并且液体朝所述液体供给源流通的返回路径。

4.根据权利要求3所述的液体喷射头，其特征在于，

在所述返回路径中流通的液体的一部分朝与所述液体供给源连通的循环路径流通，

所述返回路径之中与和所述喷嘴孔的连通部分相比位于所述循环路径侧的部分的流路截面积为所述通道中的所述下游开口面处的与所述流通方向正交的流路截面积以下。

5.根据权利要求1或权利要求2所述的液体喷射头，其特征在于，所述促动器板和所述副板由同一材料形成。

6.一种液体喷射装置，其特征在于，具备权利要求1或权利要求2所述的液体喷射头。

7. 一种液体喷射头的制造方法，所述液体喷射头具备：

促动器板，其具有被填充液体的通道；以及

副板，其层叠于所述促动器板之中液体流通方向上的所述通道的下游开口面，并且形成有与所述通道内连通的连通路径，

所述制造方法的特征在于，具有：

研磨所述副板之中所述流通方向上的所述连通路径的下游开口面的研磨工序；以及

在所述副板的所述下游开口面层叠喷射孔板的层叠工序，所述喷射孔板具有通过所述连通路径与所述通道内连通的喷射孔。

8.根据权利要求7所述的液体喷射头的制造方法，其特征在于，

所述促动器板以及所述副板构成芯片模块，

在所述研磨工序中，一起研磨多个所述芯片模块的所述副板的所述下游开口面，

在所述层叠工序中，将所述喷嘴孔板一起层叠于多个所述芯片模块的所述副板的所述下游开口面。