[发明专利]一种大角度小偏移量窄带滤光片及其制备方法在审
| 申请号： | 201710903724.0 | 申请日： | 2017-09-29 |
| 公开（公告）号： | CN107703576A | 公开（公告）日： | 2018-02-16 |
| 发明（设计）人： | 王英剑;范辛 | 申请（专利权）人： | 苏州京浜光电科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G02B5/28 | 分类号： | G02B5/28 |
| 代理公司： | 常州佰业腾飞专利代理事务所(普通合伙)32231 | 代理人： | 张宇 |
| 地址： | 215501 江苏省苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 角度 偏移 窄带 滤光 及其 制备 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种大角度小偏移量窄带滤光片的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：
(1)取K9玻璃或D263T玻璃为基底材料；
(2)在基底材料的一面交替蒸镀Si和TiO2，膜层在60-68层之间，Si的厚度控制在50-350nm之间，TiO2的厚度控制在70-300nm之间，总厚度控制在6000-7000nm之间，蒸镀方法是溅射镀膜，加离子束辅助技术，在镀Si层时，需充入氢气，在镀TiO2层时，需要充入氧气；
(3)在基底的另一面采用常规的电子束加离子束蒸发技术，膜层在80-88层之间，采用的镀膜材料为TiO2和SiO2，其中TiO2的厚度控制在30-150nm之间，SiO2的厚度控制在20-200nm之间，总厚度在6000-7000nm之间，在镀膜过程中需要充入氩气和氧气。
2.一种大角度小偏移量窄带滤光片，其特征在于，所述的滤光片由权利要求1所述的大角度小偏移量窄带滤光片的制备方法制得。
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