[发明专利]一种二维快速偏摆反射镜及其工作方法

权利要求书

1.一种二维快速偏摆反射镜，其特征在于包括：镜面支撑结构(1)、第一柔性偏摆机构(2)、第二柔性偏摆机构(3)、传感驱动组件(4)、底座(5)和驱动控制系统(6)；所述第一柔性偏摆机构(2)与第二柔性偏摆机构(3)组合后用于安装镜面支撑结构，传感驱动组件(4)与驱动控制系统(6)连接用于控制第一柔性偏摆机构(2)与第二柔性偏摆机构(3)执行偏摆动作，底座(5)用于固定传感驱动组件(4)和第二柔性偏摆机构(3)；

所述第一柔性偏摆机构(2)包括：X方向支撑横板(2-1)、X方向偏摆轴第一撑板(2-21)、X方向偏摆轴第二撑板(2-22)、X方向第一柔性板簧(2-31)、X方向第二柔性板簧(2-32)、X方向第一导向板(2-41)、X方向第二导向板(2-42)、X方向第一输入接头(2-51)和X方向第二输入接头(2-52)；

所述X方向支撑横板(2-1)中部下表面设有凹槽，X方向第一导向板(2-41)和X方向第二导向板(2-42)形状相同都为圆弧形，X方向支撑横板(2-1)的两头分别与X方向第一导向板(2-41)和X方向第二导向板(2-42)的一头连接，形成类似半圆形形状；

X方向第一柔性板簧(2-31)和X方向第二柔性板簧(2-32)形状相同，都为长条形；X方向第一柔性板簧(2-31)的一端连接X方向第一导向板(2-41)的内弧中心，另一端与X方向偏摆轴第一撑板(2-21)连接，X方向第二柔性板簧(2-32)的一端与X方向第二导向板(2-42)的内弧中心连接，另一端与X方向偏摆轴第二撑板(2-22)相连接；上述两根撑板向下垂直，且两根撑板和两根板簧分别连接后形状彼此对称；

所述X方向第一输入接头(2-51)和X方向第二输入接头(2-52)，分别与X方向第一导向板(2-41)和X方向第二导向板(2-42)的末端连接，彼此对称。

2.根据权利要求1所述的一种二维快速偏摆反射镜，其特征在于：所述第二柔性偏摆机构(3)包括：Y方向支撑横板(3-1)、Y方向偏摆轴支撑板(3-2)、Y方向第一柔性板簧(3-31)、Y方向第二柔性板簧(3-32)、Y方向第一导向板(3-41)、Y方向第二导向板(3-42)、Y方向第一输入接头(3-51)和Y方向第二输入接头(3-52)；

所述Y方向支撑横板(3-1)中部上表面设有凹槽，Y方向第一导向板(3-41)和Y方向第二导向板(3-42)形状相同都为圆弧形，Y方向支撑横板(3-1)的两头分别与Y方向第一导向板(3-41)和Y方向第二导向板(3-42)的一头连接，形成类似半圆形形状；

Y方向第一柔性板簧(3-31)和Y方向第二柔性板簧(3-32)形状相同都为长条形，一端分别与Y方向第一导向板(3-41)和Y方向第二导向板(3-42)的内弧中心连接，另一端分别与Y方向偏摆轴支撑板(3-2)的顶部左右两端连接固定；

所述第一柔性偏摆机构(2)与第二柔性偏摆机构(3)组合后俯视平面为十字形，所述X方向支撑横板(2-1)的凹槽和所述Y方向支撑横板(3-1)的凹槽形状契合，通过高强度胶水粘贴在一起，所述第一柔性偏摆机构(2)的X方向偏摆轴第一撑板(2-21)和X方向偏摆轴第二撑板(2-22)之间的空隙用于插入并胶接第二柔性偏摆机构(3)的Y方向偏摆轴支撑板(3-2)。