[发明专利]一种多层结构的铜锌锡硫薄膜太阳能电池背电极及其制备方法

权利要求书

1.一种多层结构的铜锌锡硫薄膜太阳能电池背电极，其特征在于：背电极包括三层结构，基底层为钼层，基底层上面依次设置有惰性金属层和二硫化钼层。

2.根据权利要求1所述的多层结构的铜锌锡硫薄膜太阳能电池背电极，其特征在于：背电极基底层厚度为1-2μm，惰性金属层厚度为10～500nm，硫化钼层厚度为10～50nm。

3.根据权利要求1或2所述的多层结构的铜锌锡硫薄膜太阳能电池背电极，其特征在于：所述惰性金属选自铂、金、铱、铑和钯中的至少一种。

4.一种多层结构的铜锌锡硫薄膜太阳能电池背电极的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

(1)选择钼作为基底层，在其表面上沉积惰性金属层；

(2)在惰性金属层表面上沉积钼；

(3)将惰性金属层表面上沉积的钼进行硫化形成硫化层，即完成制备。

5.根据权利4要求所述的多层结构的铜锌锡硫薄膜太阳能电池背电极的制备方法，其特征在于，所述惰性金属沉积为磁控溅射沉积，沉积参数为：功率50～150W、气压0.1～5Pa、溅射时间10～120s。

6.根据权利4要求所述的多层结构的铜锌锡硫薄膜太阳能电池背电极的制备方法，其特征在于，所述钼沉积为磁控溅射沉积，沉积参数为：功率30～180W、气压0.1～5Pa、溅射时间10～100s。

7.根据权利4要求所述的多层结构的铜锌锡硫薄膜太阳能电池背电极的制备方法，其特征在于，所述硫化使用硫蒸气作为硫化气氛，所述硫化层的硫化参数为：硫化温度250～600℃、升温速率10～100℃/s、硫化时间10s～60min、硫化气压0.1～100kPa。