[发明专利]一种漫反射增强背接触钼电极的制备方法有效

专利信息
申请号: 201710898692.X 申请日: 2017-09-28
公开(公告)号: CN107658347B 公开(公告)日: 2019-06-11
发明(设计)人: 童正夫;刘志锋;韩长存 申请(专利权)人: 湖北工业大学
主分类号: H01L31/0224 分类号: H01L31/0224;H01L31/072
代理公司: 武汉科皓知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 42222 代理人: 肖明洲
地址: 430068 湖北*** 国省代码: 湖北;42
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摘要:
搜索关键词: 一种 漫反射 增强 接触 电极 制备 方法
【权利要求书】:

1.一种漫反射增强背接触钼电极的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:

(1)将钼电极置于含有主溶质及缓冲剂的溶液I中,同时在钼电极表面加脉冲电压,进行表面氧化,得到样品A;

(2)将样品A置于水中清洗;

(3)将清洗完的样品A置于含有主溶质及缓冲剂的溶液II中清洗得到样品B;

(4)使用水对样品B表面进行清洗。

(5)重复步骤(1)~(4),直至钼基底漫反射表面形成50~200nm的规则蚀刻痕,烘干即得。

2.根据权利要求1所述的一种漫反射增强背接触钼电极的制备方法,其特征在于:所述溶液I中的主溶质选自NaOH、KOH、Ba(OH)2中的一种,溶剂为水,浓度范围为10mmol/L~10mol/L。

3.根据权利要求1所述的一种漫反射增强背接触钼电极的制备方法,其特征在于:所述溶液I中的缓冲剂选自柠檬酸-柠檬酸钠/钾、乙酸-乙酸钠/钾和磷酸二氢钠/钾-磷酸氢二钠/钾中的一种,每组缓冲剂中各组分的浓度范围1mmol/L~1mol/L,缓冲剂中前后两种组分的比例范围为1:1~20:1。

4.根据权利要求1所述的一种漫反射增强背接触钼电极的制备方法,其特征在于:所述溶液II中的主溶质选自盐酸、硫酸、硝酸中的一种,溶剂为水,浓度范围为1mmol/L~10mol/L。

5.根据权利要求1所述的一种漫反射增强背接触钼电极的制备方法,其特征在于:所述溶液II中的缓冲剂选自硼酸-硼酸钠/钾、碳酸钠/钾-碳酸氢钠/钾、磷酸二氢钠/钾-磷酸氢二钠/钾中的一种,每组缓冲剂中各组分的浓度范围1mmol/L~1mol/L,缓冲剂中前后组分的比例范围为1:1~20:1。

6.根据权利要求1所述的漫反射增强背接触钼电极的制备方法,其特征在于:所述脉冲电压波形为矩形、正弦形、锯齿形、尖形或梯形中的一种,脉冲电压范围-10~10V,脉冲频率为1~1000Hz。

7.根据权利要求1所述的一种漫反射增强背接触钼电极的制备方法,其特征在于:所述步骤(1)~(3)的反应温度20~70℃,反应时间5s~10min,步骤(1)~(4)的重复次数为1~20次。

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