[发明专利]一种漫反射增强背接触钼电极的制备方法有效
申请号: | 201710898692.X | 申请日: | 2017-09-28 |
公开(公告)号: | CN107658347B | 公开(公告)日: | 2019-06-11 |
发明(设计)人: | 童正夫;刘志锋;韩长存 | 申请(专利权)人: | 湖北工业大学 |
主分类号: | H01L31/0224 | 分类号: | H01L31/0224;H01L31/072 |
代理公司: | 武汉科皓知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 42222 | 代理人: | 肖明洲 |
地址: | 430068 湖北*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 漫反射 增强 接触 电极 制备 方法 | ||
1.一种漫反射增强背接触钼电极的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:
(1)将钼电极置于含有主溶质及缓冲剂的溶液I中,同时在钼电极表面加脉冲电压,进行表面氧化,得到样品A;
(2)将样品A置于水中清洗;
(3)将清洗完的样品A置于含有主溶质及缓冲剂的溶液II中清洗得到样品B;
(4)使用水对样品B表面进行清洗。
(5)重复步骤(1)~(4),直至钼基底漫反射表面形成50~200nm的规则蚀刻痕,烘干即得。
2.根据权利要求1所述的一种漫反射增强背接触钼电极的制备方法,其特征在于:所述溶液I中的主溶质选自NaOH、KOH、Ba(OH)2中的一种,溶剂为水,浓度范围为10mmol/L~10mol/L。
3.根据权利要求1所述的一种漫反射增强背接触钼电极的制备方法,其特征在于:所述溶液I中的缓冲剂选自柠檬酸-柠檬酸钠/钾、乙酸-乙酸钠/钾和磷酸二氢钠/钾-磷酸氢二钠/钾中的一种,每组缓冲剂中各组分的浓度范围1mmol/L~1mol/L,缓冲剂中前后两种组分的比例范围为1:1~20:1。
4.根据权利要求1所述的一种漫反射增强背接触钼电极的制备方法,其特征在于:所述溶液II中的主溶质选自盐酸、硫酸、硝酸中的一种,溶剂为水,浓度范围为1mmol/L~10mol/L。
5.根据权利要求1所述的一种漫反射增强背接触钼电极的制备方法,其特征在于:所述溶液II中的缓冲剂选自硼酸-硼酸钠/钾、碳酸钠/钾-碳酸氢钠/钾、磷酸二氢钠/钾-磷酸氢二钠/钾中的一种,每组缓冲剂中各组分的浓度范围1mmol/L~1mol/L,缓冲剂中前后组分的比例范围为1:1~20:1。
6.根据权利要求1所述的漫反射增强背接触钼电极的制备方法,其特征在于:所述脉冲电压波形为矩形、正弦形、锯齿形、尖形或梯形中的一种,脉冲电压范围-10~10V,脉冲频率为1~1000Hz。
7.根据权利要求1所述的一种漫反射增强背接触钼电极的制备方法,其特征在于:所述步骤(1)~(3)的反应温度20~70℃,反应时间5s~10min,步骤(1)~(4)的重复次数为1~20次。
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