[发明专利]频率可调声表面波谐振器

权利要求书

1.一种频率可调声表面波谐振器，其特征在于：

包括压电基片(1)、依次叠合在压电基片(1)之上的金属结构层、中间介质层和电压调控电极层；

所述金属结构层包括叉指换能器(2)、分置于叉指换能器(2)两侧的第一短路反射阵(31)和第二短路反射阵(32)；

所述中间介质层包括第一中间介质层(51)、第二中间介质层(52)和第三中间介质层(53)，所述第一中间介质层(51)叠合于叉指换能器(2)之上且与叉指换能器(2)同形，所述第二中间介质层(52)叠合于第一短路反射阵(31)之上且与第一短路反射阵(31)同形，所述第三中间介质层(53)叠合于第二短路反射阵(32)之上且与第二短路反射阵(32)同形；

所述电压调控电极层包括第一电压调控电极层(61)、第二电压调控电极层(62)和第三电压调控电极层(63)，所述第一电压调控电极层(61)叠合于第一中间介质层(51)之上且与第一中间介质层(51)同形，所述第二电压调控电极层(62)叠合于第二中间介质层(52)之上且与第二中间介质层(52)同形，所述第三电压调控电极层(63)叠合于第三中间介质层(53)之上且与第三中间介质层(53)同形；

还包括上层为金属、下层为介质的多个过桥(7)，所述多个过桥(7)通过其上层金属(72)将电压调控电极层的三个电压调控电极层(61、62、63)连通，通过下层介质(71)将金属结构层的叉指换能器(2)与第一短路反射阵(31)、第二短路反射阵(32)隔离；

所述金属结构层的叉指换能器(2)通过高频输入电极(41)和高频输出电极(42)与外界电路相连，通过直流接地电极(45)接地，通过直流偏置电极(44)与调节谐振频率的直流偏置电源相连，

所述第一短路反射阵(31)和第二短路反射阵(32)均通过各自的高频接地电极(43)和直流接地电极(45)接地；

所述叉指换能器(2)包括输入汇流电极(21)、输出汇流电极(22)、第1组叉指电极(23)和第2组叉指电极(24)，所述输入汇流电极(21)与输出汇流电极(22)相对平行放置，所述第1组叉指电极(23)的一端汇集于输入汇流电极(21)，另一端指向输出汇流电极(22)，所述第2组叉指电极(24)一端汇集于输出汇流电极(22)另一端指向输入汇流电极(21)，第1组叉指电极(23)与第2组叉指电极(24)的各个指电极交错排列；

所述输入汇流电极(21)的上侧分别与一高频输入电极(41)和一直流接地电极(45)相连，输出汇流电极(22)的下侧分别与一高频输出电极(42)和一直流接地电极(45)相连，输入汇流电极(21)的上侧和输出汇流电极(22)的下侧各设有一直流偏置电极(44)，所述直流偏置电极(44)与输入汇流电极(21)和输出汇流电极(22)间均存在间隙。

2.根据权利要求1所述的声表面波谐振器，其特征在于：

所述第一短路反射阵(31)包括第一接地汇流电极(311)、第二接地汇流电极(312)和第1组反射指电极(313)，所述第一接地汇流电极(311)、第二接地汇流电极(312)相对平行放置，所述第1组反射指电极(313)一端汇集于第一接地汇流电极(311)，另一端汇集至第二接地汇流电极(312)；

所述第二短路反射阵(32)包括第三接地汇流电极(321)、第四接地汇流电极(322)和第2组反射指电极(323)，所述第三接地汇流电极(321)、第四接地汇流电极(322)相对平行放置，所述第2组反射指电极(323)一端汇集于第三接地汇流电极(321)，另一端汇集至第四接地汇流电极(322)；

所述第一接地汇流电极(311)的右上侧和左端各与一高频接地电极(43)相连，所述第二接地汇流电极(312)的左端与一高频接地电极(43)相连，其右下侧与一直流接地电极(45)相连；

所述第三接地汇流电极(321)的右端与一高频接地电极(43)相连，其左上侧与一直流接地电极(45)相连，所述第四接地汇流电极(322)的左下侧和右端各与一高频接地电极(43)相连。

3.根据权利要求2所述的声表面波谐振器，其特征在于：

所述过桥(7)为四个，分别位于输入汇流电极(21)两端与第一接地汇流电极(311)、第三接地汇流电极(321)之间，以及输出汇流电极(22)两端与第二接地汇流电极(312)、第四接地汇流电极(322)之间，

每个过桥(7)的上层金属(72)厚度与电压调控电极层的厚度相等，其下层介质(71)厚度为金属结构层与中间介质层厚度之和，其底部附着于压电基片(1)之上，其顶部与电压调控电极层上沿平齐，上层金属(72)将第一电压调控电极层(61)分别与第二电压调控电极层(62)和第三电压调控电极层(63)导通。