[发明专利]磁传感器

权利要求书

1.一种磁传感器，其特征在于，

该磁传感器具有：

霍尔元件，其具有基板和形成在所述基板上的活性层；

第一面，其为使所述基板侧为下侧时成为最上侧的面；及

第二面，其为使所述基板侧为下侧时成为最下侧的面，

所述第一面与所述活性层的靠所述第一面侧的面之间的距离为100μm以下，所述第一面的算术平均粗糙度Ra为1μm以上且为20μm以下。

2.根据权利要求1所述的磁传感器，其特征在于，

该磁传感器具有密封部，该密封部覆盖着所述霍尔元件的与所述基板相反那一侧的面，所述密封部具有所述第一面。

3.根据权利要求1所述的磁传感器，其特征在于，

所述霍尔元件具有多个电极，该多个电极形成在所述活性层的靠所述第一面那一侧，该多个电极与所述活性层电连接。

4.根据权利要求2所述的磁传感器，其特征在于，

所述霍尔元件具有多个电极，该多个电极形成在所述活性层的靠所述第一面那一侧，该多个电极与所述活性层电连接。

5.根据权利要求4所述的磁传感器，其特征在于，

所述活性层由半导体薄膜构成，

该磁传感器具有：

多个引线端子，从俯视角度观察时，它们配置在所述霍尔元件周围；及

多根金属细线，它们分别将所述多个引线端子和所述霍尔元件的所述多个电极之间电连接起来，

所述霍尔元件的侧面、所述引线端子的靠所述第一面侧的面、所述引线端子的与所述霍尔元件的侧面相对的面和所述多根金属细线被所述密封部所覆盖。

6.根据权利要求2、4、5中任一项所述的磁传感器，其特征在于，

所述密封部是由含合成树脂的材料形成的。

7.根据权利要求6所述的磁传感器，其特征在于，

所述合成树脂含有填料。

8.根据权利要求7所述的磁传感器，其特征在于，

所述填料的尺寸为1μm以上且为50μm以下。

9.根据权利要求7或8所述的磁传感器，其特征在于，

所述填料为球状。

10.根据权利要求7或8所述的磁传感器，其特征在于，

所述合成树脂中的所述填料的含有率为50体积百分比以上且为99体积百分比以下。

11.根据权利要求9所述的磁传感器，其特征在于，

所述合成树脂中的所述填料的含有率为50体积百分比以上且为99体积百分比以下。

12.根据权利要求1～5中任一项所述的磁传感器，其特征在于，

所述霍尔元件的厚度为100μm以下。

13.根据权利要求1～5中任一项所述的磁传感器，其特征在于，

所述第一面与所述第二面之间的距离为200μm以下。

14.根据权利要求1～5中任一项所述的磁传感器，其特征在于，

所述基板的靠所述第二面侧的面被绝缘层所覆盖。

15.根据权利要求14所述的磁传感器，其特征在于，

所述绝缘层具有从所述第二面暴露出来的面。