[发明专利]一种封装结构及封装方法在审
申请号: | 201710892256.1 | 申请日: | 2017-09-27 |
公开(公告)号: | CN109560091A | 公开(公告)日: | 2019-04-02 |
发明(设计)人: | 何志宏;林正忠;林章申 | 申请(专利权)人: | 中芯长电半导体(江阴)有限公司 |
主分类号: | H01L27/146 | 分类号: | H01L27/146 |
代理公司: | 上海光华专利事务所(普通合伙) 31219 | 代理人: | 余明伟 |
地址: | 214437 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 重新布线层 封装结构 封装 封装材料 金属焊点 金属凸块 金属布线层 逻辑芯片 器件结构 外部连线 组装工艺 成品率 第二面 电连接 介质层 体积小 与逻辑 装设 背面 裸露 芯片 | ||
本发明提供一种封装结构及封装方法,所述封装结构包括:重新布线层,所述重新布线层包括第一面以及与所述第一面相对的第二面,所述重新布线层包括介质层以及金属布线层;金属凸块,所述金属凸块形成于所述重新布线层第一面上;CMOS图像传感器芯片与逻辑芯片,所述CMOS图像传感器芯片及所述逻辑芯片正面具有金属焊点,所述金属焊点装设于所述重新布线层第二面上与所述重新布线层实现相互之间的电连接;封装材料,形成于所述重新布线层的第二面上,所述CMOS图像传感器芯片背面裸露于所述封装材料;本发明封装结构具有封装体积小,组装工艺简单,封装费用低,且不需要外部连线从而提高结构的稳定性,同时提高最终器件结构的成品率。
技术领域
本发明涉及一种半导体封装领域,特别是涉及一种集成CMOS图像传感器与逻辑芯片的晶圆级封装结构及封装方法。
背景技术
CMOS(Complementary Metal-Oxide Semiconductor)中文的全称为互补氧化金属半导体,是用于记录光线变化的元件,是最常用的感光器件之一,CMOS被称之为数码相机的大脑。
数码相机的本质,从专业的角度来看,就是把光能转化为信息储存起来。大致分为以下三个流程:成像→光电转换→记录,即镜头拍摄主体反射的光线通过镜头进入相机后聚焦,形成清晰图像,图像落在CMOS光电器材上,通过光电转换形成电信号,然后把信号记录在磁带或储存卡上。而光电转换的核心部件是传感器,传感器的作用就是把传到它身上的不同强度的光线进行光电转换,转换成电压信息最终生成我们想要的数字图片。
CMOS图像传感器(CMOS image sensor)分正面照明类型和背面照明类型两种。背面照明类型最大的优化之处在于将元件内部的结构改变了,其将感光层的元件调转方向,让光能从背面直射进去,避免了传统CMOS图像传感器结构中,光线会受到微透镜和光电二极管之间的电路和晶体管的影响,从而显著提高光的效能,大大改善低光照条件下的拍摄效果。
因此,CMOS图像传感器芯片,通常需要搭配逻辑芯片集成使用,现有的制作方法是将单独封装好的CMOS图像传感器芯片通过外部连线与逻辑芯片进行电性连接。这种封装方法使得器件的体积较大,组装工艺过程较为复杂,单独封装费用高,且需要外部连线使得结构的稳定性大大降低,严重影响最终器件结构的成品率。
基于以上所述,提供一种可以有效集成CMOS图像传感器芯片及逻辑芯片,并有效降低封装结构体积、简化封装工艺、降低成本以及提高器件稳定性,且具有高成品率的封装结构及封装方法实属必要。
发明内容
鉴于以上所述现有技术的缺点,本发明的目的在于提供一种封装结构及封装方法,用于解决现有技术中CMOS图像传感器芯片及逻辑芯片的封装体积较大,器件稳定性低以及产品良率较低的问题。
为实现上述目的及其他相关目的,本发明提供一种封装结构,所述封装结构包括:
重新布线层,所述重新布线层包括第一面以及与所述第一面相对的第二面,所述重新布线层包括介质层以及金属布线层;
金属凸块,所述金属凸块形成于所述重新布线层第一面上;
CMOS图像传感器芯片与逻辑芯片,所述CMOS图像传感器芯片及所述逻辑芯片正面具有金属焊点,所述金属焊点装设于所述重新布线层第二面上与所述重新布线层实现相互之间的电连接;
封装材料,形成于所述重新布线层的第二面上,所述CMOS图像传感器芯片背面裸露于所述封装材料。
优选地,所述重新布线层包括N层金属布线层,N≥1。
优选地,所述金属凸块包括焊料凸点;或者所述金属凸块包括金属柱以及位于金属柱上方的焊料凸点。
优选地,所述CMOS图像传感器芯片包括前照式、背照式CMOS图像传感器芯片中的一种或两种以上组合。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的