[发明专利]一种电注入退火系统

说明书

本申请公开了一种电注入退火系统，包括箱体，所述箱体内设置有多个放置太阳能电池片的载具架，所述箱体连接有供电装置，所述供电装置与所述太阳能电池片连接并对所述太阳能电池片供电加热，所述箱体还连接有通风装置，所述通风装置连接有冷却装置，所述冷却装置和所述箱体之间连接有温控装置，所述温控装置用于根据检测到所述箱体内的温度控制所述冷却装置的冷却速度以维持所述箱体内恒温。上述电注入退火系统，能够提高降温速度，缩短电注入退火的工艺处理时间，提高生产效率，是太阳能电池片具有更优良的抗LID性能。

技术领域

本发明属于光伏电池制造技术领域，特别是涉及一种电注入退火系统。

背景技术

国内的主流电池大多数以掺硼的P型硅片为原料，电池片光致衰减(LID)现象无法避免，而且在早期，硅片的生产设备和工艺都比较落后，硼氧复合体和杂质的浓度较高，电池片的LID现象十分严重。随着技术进步，硅片的生产设备和工艺得到改进，硅片质量大大提高，电池片的LID现象虽然已经得到改善，但是仍然困扰众多电池制造厂商。为了提升电池效率，满足市场需求，本领域技术人员不断升级生产设备并改进生产工艺，研发出了PERC高效电池。经过实践发现，如果不对成品高效电池进行处理，高效电池的LID现象会减小电池的效率增益，降低电池片转换效率。

为了减小高效电池的LID现象，目前的处理设备主要为减值隧道式结构，隧道内安装有光源，电池片经过隧道时，利用光对电池片加热到一定温度，从而实现对电池片的抗PID处理，然而，此种方法对电池片LID的改善作用不大，且这主要是针对的单晶PERC电池片，其对多晶电池片的LID基本没有效果。

发明内容

为解决上述问题，本发明提供了一种电注入退火系统，能够提高降温速度，缩短电注入退火的工艺处理时间，提高生产效率，是太阳能电池片具有更优良的抗LID性能。

本发明提供的一种电注入退火系统，包括箱体，所述箱体内设置有多个放置太阳能电池片的载具架，所述箱体连接有供电装置，所述供电装置与所述太阳能电池片连接并对所述太阳能电池片供电加热，所述箱体还连接有通风装置，所述通风装置连接有冷却装置，所述冷却装置和所述箱体之间连接有温控装置，所述温控装置用于根据检测到所述箱体内的温度控制所述冷却装置的冷却速度以维持所述箱体内恒温。

优选的，在上述电注入退火系统中，所述箱体内部的所述载具架的周围环绕有冷却风匀流板，所述冷却风匀流板均匀布满通风孔。

优选的，在上述电注入退火系统中，所述供电装置包括3个电源柜，每个所述电源柜里面设置有4台直流稳压电源，每个所述直流稳压电源都通过耐高温电缆连接至位于所述箱体内的太阳能电池片。

优选的，在上述电注入退火系统中，所述通风装置包括与所述箱体的出风口连接的第一冷却风道和与所述箱体的进风口连接的第二冷却风道，所述第一冷却风道和所述第二冷却风道之间设置有冷却风机和冷却腔。

优选的，在上述电注入退火系统中，所述冷却装置包括设置在所述冷却腔内部的冷却水管路，所述冷却水管路还设置有球阀。

优选的，在上述电注入退火系统中，所述温控装置包括连接在一起的PLC和热电偶温度传感器，所述热电偶温度传感器与所述载具架连接并将感应到的载具架温度传输至所述PLC，所述PLC还与所述球阀连接，用于控制所述球阀的开口大小以保持所述箱体内恒温。

优选的，在上述电注入退火系统中，所述箱体还设置有氮气注入口和热排风口。

优选的，在上述电注入退火系统中，所述载具架包括三层，每个所述载具架上固定8套载具，每个所述载具上具有5个格子，每个所述格子内放置100片太阳能电池片。

优选的，在上述电注入退火系统中，所述载具架为不锈钢载具架。