[发明专利]组合式并联二自由度柔性精密导向机构

权利要求书

1.组合式并联二自由度柔性精密导向机构，包括运动台(1)、过渡台(2)、固定台(3)、柔性杆(4)和安装孔(5)；

其特征在于，所述运动台(1)、过渡台(2)和固定台(3)上分别设置至少三个安装孔(5)，且各自台上的安装孔(5)不在同一条直线上；

运动台(1)和固定台(3)分别通过柔性杆(4)固定连接在过渡台(2)上，运动台(1)与固定台(3)在过渡台(2)同侧。

2.根据权利要求1所述的组合式并联二自由度柔性精密导向机构，其特征在于，所述柔性杆(4)由一个刚性杆(402)和固定在刚性杆(402)两端的二自由度柔性铰链(401)构成。

3.根据权利要求2所述的组合式并联二自由度柔性精密导向机构，其特征在于，所述柔性杆(4)的二自由度柔性铰链(401)是柔性球铰、双向柔性铰链或两个相互垂直设置的单自由度矩形柔性铰链。

4.根据权利要求3所述的组合式并联二自由度柔性精密导向机构，其特征在于，所述柔性杆(4)的两端设有螺纹孔，通过紧定螺钉(6)与安装孔(5)固定连接。

5.根据权利要求3所述的组合式并联二自由度柔性精密导向机构，其特征在于，所述柔性杆(4)的两端设有外螺纹，安装孔(5)设有内螺纹。

6.根据权利要求4或5所述的组合式并联二自由度柔性精密导向机构，其特征在于，所述柔性杆(4)之间相互平行，且柔性杆(4)的刚度根据需求选择。

7.根据权利要求6所述的组合式并联二自由度柔性精密导向机构，其特征在于，安装在所述运动台(1)上的柔性杆(4)的刚度相同，安装在固定台(3)上的柔性杆(4)的刚度相同。

8.根据权利要求7所述的组合式并联二自由度柔性精密导向机构，其特征在于，安装在所述运动台(1)上的柔性杆(4)和固定台(3)上的柔性杆(4)的数量相同或不同；安装在运动台(1)上的柔性杆(4)和固定台(3)上的柔性杆(4)的刚度相同或不同。