[发明专利]在微机电系统(MEMS)装置中耦合折叠弹簧

权利要求书

1.微机电系统(MEMS)装置，包括：

基板；

通过第一和第二折叠弹簧可移动地耦合所述基板的质量块，其中所述质量块沿着所述第一折叠弹簧和/或所述第二折叠弹簧的压缩方向设置在所述第一和第二折叠弹簧之间；和

使所述第一折叠弹簧耦合所述第二折叠弹簧的棒。

2.权利要求1所述的MEMS装置，其中所述第一和第二折叠弹簧中的每一个包括多个折叠，其中所述棒是第一棒并且使所述第一折叠弹簧的第一折叠耦合所述第二折叠弹簧的第一折叠，以及其中所述MEMS装置还包括使所述第一折叠弹簧的第二折叠耦合所述第二折叠弹簧的第二折叠的第二棒。

3.权利要求2所述的MEMS装置，其中所述第一折叠弹簧的第一折叠面向所述第一折叠弹簧的第二折叠的相反方向。

4.权利要求3所述的MEMS装置，其中所述第一棒围绕在所述第一折叠弹簧的至少一部分周围。

5.权利要求1所述的MEMS装置，其中所述棒具有从所述第一折叠弹簧到所述第二折叠弹簧的长度和与所述长度垂直的宽度，并且其中所述棒的宽度比所述第一折叠弹簧的宽度大2至10倍。

6.权利要求1所述的MEMS装置，还包括第三折叠弹簧和第四折叠弹簧，使所述质量块耦合所述基板，并且定位为使得所述质量块在所述第三和第四折叠弹簧之间，其中耦合所述第一折叠弹簧和所述第二折叠弹簧的棒是第一棒，并且其中所述MEMS装置还包括耦合所述第三和第四折叠弹簧的第二棒。

7.权利要求1所述的MEMS装置，其中所述质量块和所述棒下均具有基本上垂直于所述第一折叠弹簧和/或所述第二折叠弹簧的压缩方向的方向的宽度，并且其中所述棒的宽度比所述质量块的宽度小10％。

8.权利要求1所述的MEMS装置，其中所述棒围绕在所述第一折叠弹簧的至少一部分周围。

9.微机电系统(MEMS)装置，包括：

基板；

通过第一和第二折叠弹簧可移动地耦合所述基板的质量块，其中所述质量块沿着所述第一折叠弹簧和/或所述第二折叠弹簧的压缩方向设置在所述第一和第二折叠弹簧之间；和

用于使所述第一折叠弹簧耦合所述第二折叠弹簧的构件。

10.权利要求9所述的MEMS装置，其中用于使所述第一折叠弹簧耦合所述第二折叠弹簧的构件包括用于使所述第一折叠弹簧的多个折叠耦合所述第二折叠弹簧的多个折叠的构件。

11.权利要求10所述的MEMS装置，其中所述第一折叠弹簧的多个折叠包括彼此相反方向面对的第一折叠和第二折叠。

12.权利要求9所述的MEMS装置，其中用于使所述第一折叠弹簧耦合所述第二折叠弹簧的构件包括用于产生使所述质量块的第一模式与所述质量块的第二模式共振频率分离的构件，其中所述第二模式具有比所述第一模式大2至20倍的共振频率。

13.权利要求9所述的MEMS装置，还包括第三折叠弹簧和第四折叠弹簧，使所述质量块耦合所述基板，并且定位为使得所述质量块在所述第三和第四折叠弹簧之间，以及还包括用于使所述第三折叠弹簧耦合所述第四折叠弹簧的构件。

14.被构造以采集能量的系统，包括：

储能装置；和

能量采集器，耦合所述储能装置和被构造为向所述储能装置递送电力，所述能量采集器包括：

基板；

通过第一和第二折叠弹簧可移动地耦合所述基板的质量块，其中所述质量块沿着所述第一折叠弹簧和/或所述第二折叠弹簧的压缩方向设置在所述第一和第二折叠弹簧之间；和

使所述第一折叠弹簧耦合所述第二折叠弹簧的棒。

15.权利要求14所述的系统，还包括传感器或致动器，耦合所述能量采集器和被构造为从所述能量采集器接收电力。

16.权利要求15所述的系统，其中所述传感器或致动器是微机电系统(MEMS)传感器，包括：

基板；

通过第一和第二折叠弹簧可移动地耦合所述基板的质量块，其中所述质量块沿着所述第一折叠弹簧和/或所述第二折叠弹簧的压缩方向设置在所述第一和第二折叠弹簧之间；和

使所述第一折叠弹簧耦合所述第二折叠弹簧的棒。