[发明专利]一种用于测量扫描电子显微镜电子束电流的装置在审
| 申请号： | 201710884515.6 | 申请日： | 2017-09-26 |
| 公开（公告）号： | CN109557351A | 公开（公告）日： | 2019-04-02 |
| 发明（设计）人： | 刘梅 | 申请（专利权）人： | 南京誉凯电子科技有限公司 |
| 主分类号： | G01R19/00 | 分类号： | G01R19/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 210000 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 样品室 电子束电流 测量扫描 电子显微镜 法拉第杯 电流表 扫描电子显微镜 隔板 电极 电子束 陶瓷 电子技术领域 测量装置 导线连接 电流通过 高灵敏度 隔板安装 密闭性 敏度 入射 栅网 电路 发射 贯穿 吸收 保证 | ||
【权利要求书】：
1.一种用于测量扫描电子显微镜电子束电流的装置，该装置包括：设置于扫描电子显微镜样品室内的法拉第杯，贯穿有两个电极的扫描电子显微镜样品室隔板，高灵敏度电流表，法拉第杯与样品室隔板上的电极通过镀有陶瓷的导线连接，样品室隔板上的电极与电流表通过镀有陶瓷的导线连接。
2.如权利要求1所述的一种用于测量扫描电子显微镜电子束电流的装置，其特征在于所述法拉第杯包括：金属杯体、从下至上依次设置于杯体内的绝缘层、金属电极层和两层金属栅网层，其中金属电极层、两层金属栅网层、金属杯体各引出一电极。
3.如权利要求1所述的一种用于测量扫描电子显微镜电子束电流的装置，其特征在于所述样品室隔板的两个电极与金属隔板之间采用陶瓷作为绝缘材料。
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