[发明专利]MEMS装置、液体喷射头、液体喷射装置及MEMS装置的制造方法

说明书

本发明提供了一种能够对被层叠在树脂部上的配线中的电连接的可靠性的下降进行抑制的MEMS装置、液体喷射头、液体喷射装置、以及MEMS装置的制造方法，所述MEMS装置具备基板，所述基板具有从一个面突出的由树脂形成的树脂部以及覆盖树脂部的表面的至少一部分的第一配线，第一配线沿着所述一个面上的第一方向而从与树脂部重叠的位置起延伸设置至偏离于树脂部的位置处，在与第一方向交叉的第二方向上，树脂部的宽度为覆盖该树脂部的第一配线的宽度以上。

技术领域

本发明涉及一种具备树脂和覆盖于该树脂的表面的配线以作为例如凸状电极的MEMS装置的制造方法，以及一种液体喷射头的制造方法。

背景技术

具备对两个基板之间进行电连接的凸状电极的MEMS(Micro Electro MechanicalSystems：微机电系统)装置被应用于各种装置(例如，液体喷射装置和传感器等)中。例如，作为一种MEMS装置的一种的液体喷射头具备上述的凸状电极和压电元件等的致动器，并经由凸状电极而向致动器发送驱动信号(电信号)。此外，作为搭载有这样的液体喷射头的液体喷射装置，例如有喷墨式打印机、喷墨式绘图仪等的图像记录装置。此外，最近，也利用能够将极少量的液体准确地喷落于预定位置这一优点而将液体喷射头应用于各种制造装置中。例如应用于，制造液晶显示器等的滤色器的显示器制造装置、形成有机EL(ElectroLuminescence：电致发光)显示器和FED(面发光显示器)等的电极的电极形成装置，制造生物芯片(生物化学元件)的芯片制造装置。而且，在图像记录装置用的记录头中，喷射液状的油墨，在显示器制造装置用的色材喷射头中，喷射R(Red：红色)、G(Green：绿色)、B(Blue：蓝色)各色材的溶液。此外，在电极形成装置用的电极材料喷射头中，喷射液状的电极材料，而在芯片制造装置用的生体有机物喷射头中，喷射生体有机物的溶液。

作为上述的凸状电极而存在有如下的凸状电极，所述凸状电极具备在基板的表面上所形成的一串树脂部(树脂层)、和在该树脂部上所形成的配线(例如，参照专利文献1)。在此，树脂部之中的与相邻的配线之间(即，凸状电极之间)相对应的部分通过蚀刻从而使表面的一部分被削去，从而变小。也就是说，相邻的配线之间的树脂部的高度(从基板至树脂部的上表面为止的尺寸)被形成为与位于配线的正下方的树脂部(换言之，被配线覆盖着的部分的树脂部)的高度相比而较低(参照专利文献1)。而且，这种形状是在于树脂部上形成配线之后，将该配线作为掩膜而通过对树脂部进行蚀刻而形成的。

在此，即使是在树脂部的蚀刻中使用干蚀刻，位于配线的正下方的树脂部也会被进行侧面蚀刻。也就是说，如图19所示，例如，在使用氧等离子体而对在基板90上所形成的树脂部91进行蚀刻时，该氧等离子体会将位于配线92的正下方的树脂部91的侧面略微削去。因此，位于配线92的正下方的树脂部91的宽度与将其覆盖的配线92的宽度相比而较小(细)，从而会成为配线92的一部分向树脂部91的外侧突出的形状。其结果为，例如，在为了将凸状电极93的配线92与被形成在对置的基板上的端子连接而向将树脂部91压溃的方向进行加压的情况下，存在凸状电极93倾斜或倾倒，从而其形状被破坏的可能。而且，当凸状电极93的形状被破坏时，电连接的可靠性会下降。另外，图19所示的虚线箭头表示氧等离子体的飞散影像。

专利文献1：日本特开2009-260389号公报

发明内容

本发明鉴于这种情况而被完成，其目的在于，提供了一种能够对被层叠在树脂部上的配线中的电连接的可靠性的下降进行抑制的MEMS装置、液体喷射头、液体喷射装置、以及MEMS装置的制造方法。

为了达成上述目的而提出了本发明的MEMS装置，其特征在于，具备基板，所述基板具有从一个面突出的由树脂形成的树脂部，以及覆盖所述树脂部的表面的至少一部分的第一配线，所述第一配线沿着所述一个面上的第一方向而从与所述树脂部重叠的位置起延伸设置至偏离于所述树脂部的位置，在与所述第一方向交叉的第二方向上，所述树脂部的宽度为覆盖该树脂部的第一配线的宽度以上。