[发明专利]一种利用反射谱精细度测量光波导损耗的系统有效

专利信息
申请号: 201710880114.3 申请日: 2017-09-25
公开(公告)号: CN107727365B 公开(公告)日: 2019-09-24
发明(设计)人: 贺一鸣;陆丹;李召松;赵玲娟 申请(专利权)人: 中国科学院半导体研究所
主分类号: G01M11/02 分类号: G01M11/02
代理公司: 中科专利商标代理有限责任公司 11021 代理人: 任岩
地址: 100083 *** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 一种 利用 反射 精细 测量 波导 损耗 系统
【权利要求书】:

1.一种利用反射谱精细度测量光波导损耗的系统,包括:光源、光路环形装置、耦合装置和光电探测器,其中,

所述光路环形装置的第一端口接收光源发出的光,并将其由第二端口输出至耦合装置;

所述耦合装置用于将所述光路环形装置第二端口的输出光耦合进待测波导,并收集待测波导的反射光,将所述反射光导入光路环形装置的第二端口;

所述光路环形装置还用于接收耦合装置导入的反射光,并将所述反射光由光路环形装置的第三端口传输至光电探测器;

所述光电探测器用于将接收到的光功率转换为光电流信号;

其中,所述待测波导的损耗公式为:

其中,α为待测波导的波导损耗,F为光源在不同波长下的探测器光电流曲线的精细度,FSR为所述探测器光电流曲线的自由光谱宽度,即曲线的周期,FWHM为所述探测器光电流曲线谷值处的半高全宽,L为通过自由光谱宽度求得的待测波导的长度,λ为光源的波长,ng为待测波导的群折射率,R为待测波导两端面的反射率。

2.根据权利要求1所述的系统,其中,还包括控制装置,所述控制装置连接光源和光电探测器,用于对光源进行控制,使其进行波长扫描,并采集来自光电探测器的光电流信号。

3.根据权利要求2所述的系统,其中,所述光路环形装置为三路环形器,耦合装置为拉锥光纤。

4.根据权利要求2所述的系统,其中,所述光源为可调谐激光器或宽谱光源。

5.根据权利要求4所述的系统,其中,光路环形装置为空间光分束器,耦合装置为透镜组合;

所述可调谐激光器和空间光分束器之间设置有隔离器,用于防止待测波导的反射光进入可调谐激光器。

6.根据权利要求1所述的系统,其中,所述耦合装置使用CCD成像系统或显微镜进行辅助对准。

7.根据权利要求2所述的系统,其中,所述控制装置为控制计算机。

8.根据权利要求1至7中任一项所述的系统,其中,所述待测波导采用两端面为自然解理面波导或两端面有确定折射率的镀膜波导,能够形成稳定的干涉。

9.根据权利要求8所述的系统,其中,

所述待测波导为片上波导结构,包括脊波导、掩埋波导或掩埋脊波导;

所述待测波导为直波导或弯曲波导。

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