[发明专利]一种自动圆形硅片插片机

权利要求书

1.一种自动圆形硅片插片机，其特征在于，包括依次设置的插片机构和抓取机构，其中：

所述插片机构，用于将叠放在一起的硅片分离并且将分离的硅片插入硅片装载装置；

所述抓取机构，用于移送硅片装载装置。

2.根据权利要求1所述的一种自动圆形硅片插片机，其特征在于：所述插片机构包括依次设置的分片部、传输部和插片部，其中，

所述分片部用于分离叠在一起的硅片；

所述传输部用于将经所述分片部分离出的硅片传送给所述插片部；

所述插片部用于将传送而来的硅片插入硅片装载装置。

3.根据权利要求2所述的一种自动圆形硅片插片机，其特征在于，所述分片部包括水中供料槽体，所述水中供料槽体内依次设置定位及升降装置和出水分片装置，其中：

所述定位及升降装置，采用弹夹工装定位，用于将叠在一起的硅片定位到指定位置；

所述出水分片装置，包括摩擦装置和吸着装置，利用摩擦力和吸着力吸附传送硅片，用于分离圆形硅片。

4.根据权利要求2所述的一种自动圆形硅片插片机，其特征在于：所述插片部包括升降装置，所述升降装置连接控制系统，所述升降装置用于将所述传输部输送而来的硅片插入硅片装载装置。

5.根据权利要求3所述的一种自动圆形硅片插片机，其特征在于：所述分片部还包括传输装置，所述传输装置包括依次设置的第一传输装置和第二传输装置，所述第一传输装置的一部分设置在所述供料槽体内部与所述摩擦吸着装置通过连接件连接，所述第一传输装置的另一部分设置在所述供料槽体外，所述第二传输装置与所述传输部连接。

6.根据权利要求5所述的一种自动圆形硅片插片机，其特征在于：所述连接件为依次设置的一段30°皮带和一段水平皮带，所述水平的皮带与所述第一传输装置连接，所述水平皮带上设置传感器。

7.根据权利要求3所述的一种自动圆形硅片插片机，其特征在于：所述摩擦装置采用滚轮摩擦，所述吸着装置的底部设置吸附孔，所述摩擦装置设置在所述吸着装置的侧面。

8.根据权利要求1所述的一种自动圆形硅片插片机，其特征在于：还包括空载缓存机构，所述空载缓存机构与所述传输装置平行设置。

9.根据权利要求1所述的一种自动圆形硅片插片机，其特征在于：还包括翻转机构，所述翻转机构包括X向夹紧装置、Z向夹紧装置和旋转驱动装置；

所述X向夹紧装置和所述Z向夹紧装置，用于将装有硅片的硅片装载装置固定夹紧；

所述旋转驱动装置用于将装有硅片的硅片装载装置进行90°翻转。

10.根据权利要求9所述的一种自动圆形硅片插片机，其特征在于，还包括机架和抓取旋转机构，所述抓取旋转机构包括X向移动装置、Y向移动装置、Z向移动装置、抓取装置和驱动装置，所述驱动装置设置在所述抓取装置的顶部，所述Z向移动装置与所述抓取装置移动连接，其中：

所述X向移动装置在所述机架顶部X向滑动；

所述Y向移动装置与所述X向移动装置垂直设置，在所述机架顶部Y向滑动；

所述Z向移动装置与所述机架竖直方向滑动连接。