[发明专利]一种热敏电阻等离子喷涂贱金属铜双电极及其制备方法在审
| 申请号： | 201710876070.7 | 申请日： | 2017-09-25 |
| 公开（公告）号： | CN107863212A | 公开（公告）日： | 2018-03-30 |
| 发明（设计）人： | 汪洋 | 申请（专利权）人： | 江苏时瑞电子科技有限公司 |
| 主分类号： | H01C1/14 | 分类号： | H01C1/14;H01C17/28 |
| 代理公司： | 南京经纬专利商标代理有限公司32200 | 代理人： | 楼高潮 |
| 地址： | 212434 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 热敏电阻 等离子 喷涂 金属 电极 及其 制备 方法 | ||
1.一种热敏电阻等离子喷涂贱金属铜双电极，其特征在于，包括1000-2000nm厚度的贱金属层和3000-4000厚度的铜金属层。
2.根据权利要求1所述的一种热敏电阻等离子喷涂贱金属铜双电极，其特征在于，所述铜金属层材质为纳米晶铜粉，纳米晶铜粉粒径为10-15nm。
3.根据权利要求1所述的一种热敏电阻等离子喷涂贱金属铜双电极，其特征在于，所述贱金属层材质为Cr、Ni、Mo或W中的一种。
4.权利要求1所述的一种热敏电阻等离子喷涂贱金属铜双电极的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：
(1)将贱金属球磨处理得到纳米粉末；将基体放入直流电弧等离子体蒸发设备中，抽真空，真空度为10-3-10-4Mpa，充入氮气或氩气，在氮气或氩气回流中进行贱金属等离子喷溅处理，处理温度为1400-1800℃，喷溅速度为1000-2000m/s，得到1000-2000nm厚度的贱金属层后降温至20℃，降温速度为200-300℃/s，得到半成品基体；
(2)将纳米粉末换成铜，在氮气或氩气回流中将半成品基体进行铜等离子喷溅处理，真空度为10-2-10-3Mpa，处理温度为2000-4000℃，喷溅速度为1500-2500m/s，得到3000-4000厚度的铜金属层后退火处理两次，得到热敏电阻等离子喷涂贱金属铜双电极。
5.根据权利要求4所述的一种热敏电阻等离子喷涂贱金属铜双电极的制备方法，其特征在于，所述步骤(2)中退火处理的热处理时间为3-4小时。
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