[发明专利]CF基板的微观缺陷检测方法、装置及设备

说明书

技术领域

本发明涉及光学检测技术领域，特别涉及一种CF基板的微观缺陷检测方法、装置及设备。

背景技术

目前，在显示面板制造中通常采用自动光学检测(Automatic Optic Inspection，简称AOI)设备来对CF(color filter，彩色滤光片、彩膜)基板的微观缺陷进行检测。微观缺陷包括白缺陷和黑缺陷，白缺陷类型有光阻缺失、颜色泛白等，黑缺陷类型有微粒(particle)、光阻残留、异物残留、背污等。由于CF基板的缺陷直接影响到显示面板的显示效果，因此，AOI检测对于CF基板的质量监控至关重要，如果AOI检测不能及时拦检具有缺陷的CF基板，可能导致大批量的异常CF基板流到后段，最终导致成品不良，造成良率较低。

目前AOI设备的检查原理主要为灰阶比对，即CF基板进入机台后，AOI设备通过CCD(Charge Coupled Device，电荷耦合器件)对CF基板的膜面微观图像进行拍照以形成灰阶图像，并将像素点的灰阶值和其周围上下左右的像素点的灰阶值进行比对，如果差值超出设置灰阶差值(阈值)，则判定为缺陷。如图1所示，当灰阶图像中存在白缺陷时，待检测点E位置的像素点灰阶值较高，当与周围上下左右相同位置的对比像素点E1-E4比较后，灰阶差值大于阈值则判定为白缺陷。如图2所示，当灰阶图像中存在黑缺陷时，待检测点F位置的像素点灰阶值较低，当与周围上下左右相同位置的对比像素点F1-F4比较后，灰阶差值大于阈值则判定为黑缺陷。

现有AOI参数设置主要包括灯源亮度，比对距离值(pitch值)和阈值，通过以上参数的设置可调整AOI对缺陷的检出率。然而，现有的参数设置无法检出形状较规律的微观异常缺陷(如图3-5所示)，因为此类缺陷与周围的参考像素点进行比对时，灰阶无差异或差异很小，无法达到设定阈值，AOI检测判定为正常。通过降低阈值虽然可以提高AOI缺陷检出率，但是当阈值降到一定程度会出现大面积误报，将正常区域当成缺陷检出。此外，通过调整灯源亮度、比对距离值均不能检出此类缺陷，从而影响产品的品质。

发明内容

鉴于此，本发明提供一种CF基板的微观缺陷检测方法、装置及设备，以提高CF基板的缺陷检出率，并有效地解决缺陷漏检的问题。

本发明一方面提供一种CF基板的微观缺陷检测方法，包括以下步骤：

获取所述CF基板的灰阶图像；

检测所述灰阶图像的待检测点的灰阶值；

获取所述待检测点所在的色彩区域对应的正常灰阶值范围；

判断所述待检测点的灰阶值是否在对应的正常灰阶范围内；

若所述待检测点的灰阶值不在对应的正常灰阶范围内，则判断所述待检测点为异常点。

进一步地，所述CF基板的微观缺陷检测方法还包括：

针对所述CF基板的各个色彩制程的正常色彩区域分别设置相应的正常灰阶值范围。

进一步地，所述CF基板的微观缺陷检测方法还包括：

检测所述待检测点周围的对比像素点的灰阶值，其中，所述对比像素点与所述待检测点相距预设距离，且属于同一色彩区域；

计算所述待检测点的灰阶值与所述对比像素点的灰阶值之间的差值；

判断所述差值的绝对值是否大于预设阈值；

若所述差值的绝对值大于所述预设阈值，则判断所述待检测点为异常点。

进一步地，所述对比像素点至少包括与所述待检测点在同一水平方向上的对比像素点和与所述待检测点在同一垂直方向上的对比像素点。

进一步地，所述预设距离至少包括水平方向的距离值和垂直方向的距离值，所述预设距离为同一方向上的一个或多个重复周期的相同色彩区域之间的距离。

本发明另一方面提供一种CF基板的微观缺陷检测装置，包括：

获取模块，用于获取所述CF基板的灰阶图像；

检测模块，用于检测所述灰阶图像的待检测点的灰阶值；

所述获取模块还用于获取所述待检测点所在的色彩区域对应的正常灰阶值范围；

分析模块，用于判断所述待检测点的灰阶值是否在对应的正常灰阶范围内；

所述分析模块还用于在所述待检测点的灰阶值不在对应的正常灰阶范围内时，判断所述待检测点为异常点。

进一步地，所述检测装置还包括设置模块，所述设置模块用于针对所述CF基板的各个色彩制程的正常色彩区域分别设置相应的正常灰阶值范围。

进一步地，所述检测模块还用于检测所述待检测点周围的对比像素点的灰阶值，其中，所述对比像素点与所述待检测点相距预设距离，且属于同一色彩区域；