[发明专利]一种太阳能硅片清洗机有效

专利信息
申请号: 201710872645.8 申请日: 2017-09-25
公开(公告)号: CN107716440B 公开(公告)日: 2020-06-16
发明(设计)人: 不公告发明人 申请(专利权)人: 南通华林科纳半导体设备有限公司
主分类号: B08B3/12 分类号: B08B3/12;B08B13/00;H01L31/18;H01L21/67
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 226500 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 太阳能 硅片 清洗
【权利要求书】:

1.一种太阳能硅片清洗机,包括清洗机本体(1),其特征在于,所述清洗机本体(1)的底部四角均开设有调节槽(2),所述调节槽(2)的两侧内壁上均开设有驱动槽(3),开设在同一个调节槽(2)上的两个驱动槽(3)相互远离的一侧内壁上均滑动安装有推杆电机(4),所述调节槽(2)的顶部内壁上铰接有两个对称设置的上支杆(5),所述上支杆(5)的底端延伸至相对应的驱动槽(3)内并与推杆电机(4)的输出轴转动安装,所述推杆电机(4)的输出轴上还转动安装有下支杆(6),两个下支杆(6)的底端铰接有同一个调节柱(7),所述调节柱(7)的底部设有支撑柱(8),所述支撑柱(8)的底端转动安装有滚轮(9),所述调节柱(7)的底部开设有限位槽(32),所述支撑柱(8)的顶部焊接有限位柱(10),所述限位柱(10)的顶部延伸至相对应的限位槽(32)内,所述限位槽(32)的上方设有开设在调节柱(7)上的安装腔(11),所述安装腔(11)的一侧内壁上转动安装有转盘(12),所述转盘(12)的一侧焊接有第一伞型齿轮(13),所述安装腔(11)内安装有步进电机(14),所述步进电机(14)的输出轴上焊接有第二伞型齿轮(15),所述第一伞型齿轮(13)与相对应的第二伞型齿轮(15)相啮合,所述安装腔(11)的底部内壁上开设有凹槽(16),所述第一伞型齿轮(13)的底部焊接有转动杆(17),所述转动杆(17)的底部延伸至凹槽(16)内,所述转动杆(17)靠近限位槽(32)的一侧开设有滑槽(18),所述滑槽(18)内滑动安装有滑块(19),所述凹槽(16)靠近限位槽(32)的一侧内壁上开设有卡柱孔(20),所述卡柱孔(20)内滑动安装有卡柱(21),所述限位柱(10)的一侧开设有卡槽(22),所述卡柱(21)的一端延伸至相对应的限位槽(32)内并与卡槽(22)相卡装,所述卡柱(21)的另一端延伸至相对应的凹槽(16)内并与滑块(19)相铰接。

2.根据权利要求1所述的一种太阳能硅片清洗机,其特征在于,所述清洗机本体(1)的顶部焊接有U型平移支架(26),清洗机本体(1)的顶部开设有多个超声清洗槽(27),多个超声清洗槽(27)的上方均设有滑动安装在U型平移支架(26)上的吊篮(28),所述吊篮(28)内放置有太阳能硅片本体(29)。

3.根据权利要求1所述的一种太阳能硅片清洗机,其特征在于,开设在同一个调节槽(2)上的两个驱动槽(3)相互远离的一侧内壁上均开设有安装槽(24),所述安装槽(24)内滑动安装有保护板(25),所述保护板(25)的一侧延伸至相对应的驱动槽(3)内并与推杆电机(4)相焊接。

4.根据权利要求1所述的一种太阳能硅片清洗机,其特征在于,所述调节槽(2)的两侧内壁上均焊接有固定板(23),位于同一个调节槽(2)内的两个固定板(23)相互靠近的一侧均与调节柱(7)滑动连接。

5.根据权利要求1所述的一种太阳能硅片清洗机,其特征在于,所述调节柱(7)的横截面为矩形结构,且调节柱(7)与调节槽(2)滑动连接。

6.根据权利要求1所述的一种太阳能硅片清洗机,其特征在于,所述安装腔(11)的一侧内壁上螺纹固定有拆卸板(30),所述拆卸板(30)与相对应的步进电机(14)相焊接。

7.根据权利要求1所述的一种太阳能硅片清洗机,其特征在于,所述转动杆(17)远离卡柱孔(20)的一侧内壁上焊接有弹簧(31),所述弹簧(31)的另一端与凹槽(16)远离卡柱孔(20)的一侧内壁相焊接。

8.根据权利要求1所述的一种太阳能硅片清洗机,其特征在于,所述限位槽(32)的横截面和限位柱(10)的横截面均为矩形结构。

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