[发明专利]一种等离子体注入腔室内衬结构

权利要求书

1.一种等离子体注入腔室内衬结构，其特征在于：包括可拆卸式固定在等离子体注入腔室内的侧壁和顶壁，所述侧壁由至少十个基板和两个透明基板沿圆周方向首尾相接组合构成，两个所述透明基板左右对称分布，所述顶壁由呈正十二边形的基板和十二个呈扇形的基板拼接组合构成，所述基板内侧表面涂覆有涂层，还包括可拆卸固定在侧壁内并与侧壁存在预定间隙的活动侧壁，所述活动侧壁由两个弧形基板和两个透明基板沿圆周方向间隔交错相接组合构成，所述活动侧壁的透明基板与侧壁的透明基板对应，在所述弧形基板上均等间隔排列设有多个气体分流通孔，在所述弧形基板的内侧、外侧表面涂覆有涂层。

2.根据权利要求1所述的等离子体注入腔室内衬结构，其特征在于：所述基板包括铝合金片材，所述透明基板为石英片材。

3.根据权利要求1所述的等离子体注入腔室内衬结构，其特征在于：所述涂层的厚度为5um-1.5mm。

4.根据权利要求1-3任意一项所述的等离子体注入腔室内衬结构，其特征在于：在两个所述透明基板上分别设有射频电源模块，所述顶壁的基板上间隔设有多个射频电源模块。

5.根据权利要求1所述的等离子体注入腔室内衬结构，其特征在于：所述气体分流通孔为条形槽孔沿圆周方向呈格栅状的排列分布。

6.根据权利要求1所述的等离子体注入腔室内衬结构，其特征在于：所述弧形基板左右侧端分别形成承口，所述透明基板左右侧端分别形成与承口对应相接的插口。

7.根据权利要求1所述的等离子体注入腔室内衬结构，其特征在于：所述弧形基板的扇形角度为160°。