[发明专利]硅片花篮慢提拉装置

说明书

技术领域

本申请涉及一种硅片花篮慢提拉装置。

背景技术

在硅片清洗移动过程中，工装花篮始终处于一个水平状态，花篮中硅片到慢提拉槽中，因为没有超声波作振动作用，在慢提拉提升时，相邻二片硅片处于左右随机状态，有点靠左，有点靠右，虽然有塑料隔板隔开，考虑到间距小原因，偶尔二片会粘在一起，造成后面无法有效烘干，影响硅片质量和生产效率。

发明内容

本发明的目的在于提供一种硅片花篮慢提拉装置，以克服现有技术的不足。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案。

本申请实施例公开了一种硅片花篮慢提拉装置，包括一抬升装置，所述抬升装置包括水平抬升支架，所述水平抬升支架沿竖直方向移动，所述水平抬升支架顶面支撑有一活动支架，所述活动支架上表面支撑所述硅片花篮，所述活动支架与所述水平抬升支架之间固定安装有活动杆，所述活动杆对称设置于所述活动支架两侧，所述活动杆一端固定于所述活动支架侧面中部靠左或者靠右位置，另一端转动连接于所述水平抬升支架，所述硅片花篮轴向垂直于两所述活动杆连线方向，所述硅片花篮两侧底部分别向外凸伸设置有第一凸部件，所述活动支架两侧分别开设有配合所述第一凸部件的缺口。

优选的，在上述的硅片花篮慢提拉装置中，所述硅片花篮两侧上部分别向外凸伸设置有第二凸部件。

优选的，在上述的硅片花篮慢提拉装置中，所述活动支架上表面支撑3组相互排列的硅片花篮。

优选的，在上述的硅片花篮慢提拉装置中，所述抬升装置还包括一竖臂，所述水平抬升装置一端固定于所述竖臂，所述竖臂上端固定安装于一滑块，所述滑块上下移动安装于一竖直导轨。

优选的，在上述的硅片花篮慢提拉装置中，所述水平抬升支架底部支撑设置有一倾斜支撑臂。

优选的，在上述的硅片花篮慢提拉装置中，还包括一水槽，所述水槽远离所述活动杆的侧面底部设置有第一挡块，所述水槽靠近所述活动杆的侧面上部设置有第二挡块。

与现有技术相比，本发明的优点在于活动支架支撑硅片花篮，但是活动支架底部设置了活动杆，而且活动杆不是在中间的，所以活动支架肯定会偏向于一侧，在重力作用下，使得所有硅片均偏向于一侧，这样就避免了相邻的两片硅片粘合在一起，这样抬升装置缓慢抬升，利用水的表面张力作用，硅片表面的水分子不断从上往下拉，保证了硅片表面水分较少，进入烘干槽后可以快速实现烘干；

当硅片清洗清洗时，由于第一挡块的支撑作用，使得活动支架处于水平状态，即花篮处于水平状态，保证了清洗效果；

当花篮提升至上方时，需要将花篮整体运输出去时，由于第二挡块的下压作用，保持了花篮的水平，方便了其他装置的操作。

附图说明

为了更清楚地说明本申请实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请中记载的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1所示为本发明具体实施例中硅片花篮慢提拉装置的右视图；

图2所示为本发明具体实施例中硅片花篮慢提拉装置的主视图。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行详细的描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

结合图1-2所示，硅片花篮慢提拉装置，包括一抬升装置100，抬升装置100包括水平抬升支架110，水平抬升支架110沿竖直方向移动，水平抬升支架110顶面支撑有一活动支架120，活动支架120上表面支撑硅片花篮200，活动支架120与水平抬升支架110之间固定安装有活动杆130，活动杆130对称设置于活动支架120两侧，活动杆130一端固定于活动支架120侧面中部靠左或者靠右位置，另一端转动连接于水平抬升支架110，硅片花篮200轴向垂直于两活动杆130连线方向，硅片花篮200两侧底部分别向外凸伸设置有第一凸部件210，活动支架120两侧分别开设有配合第一凸部件210的缺口121。