[发明专利]耐蚀抗菌的含银MoO3-SiO2纳米晶复合涂层的制备方法有效
| 申请号： | 201710864171.2 | 申请日： | 2017-09-22 |
| 公开（公告）号： | CN108048809B | 公开（公告）日： | 2019-07-30 |
| 发明（设计）人： | 徐江;孙腾腾;姚凡 | 申请（专利权）人： | 南京航空航天大学 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/16;C23C14/10;C23C14/08 |
| 代理公司： | 江苏圣典律师事务所 32237 | 代理人： | 贺翔;杨文晰 |
| 地址： | 210016 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 抗菌 moo base sub | ||
1.一种耐蚀抗菌的含银MoO3-SiO2纳米晶复合涂层的制备方法，其特征在于，具体步骤如下：
a.首先利用双阴极等离子溅射Mo-Si-Ag层，工艺参数：靶材电压800V~1000V，工件电压250V~350V，靶材与工件间距10mm~20mm，Ar气压25Pa~40Pa，沉积温度750℃~950℃，沉积时间3.0h~5.0h；
b.其次进行等离子氧化，工艺参数：靶材电压650V~750V，工件电压250V~350V，靶材与工件间距10mm~15mm，Ar气压25Pa~40Pa，氧分压0.1Pa~1.0Pa，氧化时间1.5h~2.0h。
2.根据权利要求1所述耐蚀抗菌的含银MoO3-SiO2纳米晶复合涂层的制备方法，其特征在于，所述靶材为混合Mo-Si-Ag靶。
3.根据权利要求2所述耐蚀抗菌的含银MoO3-SiO2纳米晶复合涂层的制备方法，其特征在于，所述混合Mo-Si-Ag靶中，Mo、Si和Ag的摩尔质量比为47:47:6。
4.根据权利要求2所述耐蚀抗菌的含银MoO3-SiO2纳米晶复合涂层的制备方法，其特征在于，所述工件为316L不锈钢。
5.根据权利要求1-4之一所述耐蚀抗菌的含银MoO3-SiO2纳米晶复合涂层的制备方法，其特征在于，步骤a双阴极等离子溅射工艺参数：靶材电压900V，工件电压350V，靶材与工件间距15mm，Ar气压35Pa，沉积温度850℃，沉积时间3.5h。
6.根据权利要求5所述耐蚀抗菌的含银MoO3-SiO2纳米晶复合涂层的制备方法，其特征在于，步骤b等离子氧化工艺参数：靶材电压750V，工件电压300V，靶材与工件间距10mm，氧分压1.0Pa，氧化时间1.5h。
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