[发明专利]减压干燥系统和减压干燥方法

权利要求书

1.一种减压干燥系统，其特征在于，包括：

在气压比大气压低的减压气氛中，从形成于基板的包括有机材料和溶剂的涂敷层使所述溶剂蒸发的第一减压干燥装置；

与所述第一减压干燥装置分别设置的、在所述第一减压干燥装置将所述溶剂蒸发后在气压比大气压低的减压气氛中使残留于所述涂敷层的所述溶剂蒸发的第二减压干燥装置；

将所述基板从所述第一减压干燥装置搬送到所述第二减压干燥装置的搬送部；和

控制所述第一减压干燥装置、所述第二减压干燥装置和所述搬送部的控制部，

所述第一减压干燥装置包括收纳形成有所述涂敷层的所述基板的第一处理容器；在所述第一处理容器的内部保持所述基板的第一基板保持部；和将所述第一处理容器的内部减压至比大气压低的气压的第一减压机构，

所述第二减压干燥装置包括收纳通过所述搬送部从所述第一减压干燥装置搬送来的所述基板的第二处理容器；在所述第二处理容器的内部保持所述基板的第二基板保持部；和将所述第二处理容器的内部减压至比大气压低的气压的第二减压机构，

所述第二基板保持部是在铅垂方向上将载置所述基板的基板载置部隔开间隔的多个盒，

所述盒设置在所述第二处理容器的内部，

所述控制部在所述第二减压机构将所述第二处理容器的内部减压至比大气压低的气压的情况下，通过所述搬送部将所述基板搬入所述第二处理容器。

2.如权利要求1所述的减压干燥系统，其特征在于：

具有在所述第二处理容器的内部使所述盒在铅垂方向上移动的驱动部。

3.如权利要求1或2所述的减压干燥系统，其特征在于：

所述第二减压干燥装置在室温下使残留于所述涂敷层的所述溶剂蒸发。

4.如权利要求1或2所述的减压干燥系统，其特征在于：

所述搬送部具有在将所述基板从所述第一减压干燥装置搬送到所述第二减压干燥装置的搬送路径的途中，收纳所述基板并且切换内部的气压的装载锁定装置。

5.如权利要求3所述的减压干燥系统，其特征在于：

所述搬送部具有在将所述基板从所述第一减压干燥装置搬送到所述第二减压干燥装置的搬送路径的途中，收纳所述基板并且切换内部的气压的装载锁定装置。

6.如权利要求4所述的减压干燥系统，其特征在于：

所述搬送部具有将所述基板从所述第一减压干燥装置搬送到所述装载锁定装置的第一基板搬送装置；和

将所述基板从所述装载锁定装置搬送到所述第二减压干燥装置的第二基板搬送装置。

7.如权利要求5所述的减压干燥系统，其特征在于：

所述搬送部具有将所述基板从所述第一减压干燥装置搬送到所述装载锁定装置的第一基板搬送装置；和

将所述基板从所述装载锁定装置搬送到所述第二减压干燥装置的第二基板搬送装置。

8.如权利要求6所述的减压干燥系统，其特征在于：

所述第二基板搬送装置包括将内部的气压减压至比大气压低的气压的减压发生源。

9.如权利要求7所述的减压干燥系统，其特征在于：

所述第二基板搬送装置包括将内部的气压减压至比大气压低的气压的减压发生源。

10.如权利要求6所述的减压干燥系统，其特征在于：

具有多个所述第一减压干燥装置，多个所述第一减压干燥装置与所述第一基板搬送装置连接。

11.如权利要求7所述的减压干燥系统，其特征在于：

具有多个所述第一减压干燥装置，多个所述第一减压干燥装置与所述第一基板搬送装置连接。

12.如权利要求6所述的减压干燥系统，其特征在于：

具有多个所述第二减压干燥装置，多个所述第二减压干燥装置与所述第二基板搬送装置连接。