[发明专利]一种熔锥型光纤马赫-增德尔传感器的制备方法有效
| 申请号： | 201710860439.5 | 申请日： | 2017-09-21 |
| 公开（公告）号： | CN107677390B | 公开（公告）日： | 2020-07-28 |
| 发明（设计）人： | 林启敬;赵娜;蒋庄德;伍子荣;姚坤;田边 | 申请（专利权）人： | 西安交通大学 |
| 主分类号： | G01K11/32 | 分类号： | G01K11/32;G01N21/41 |
| 代理公司： | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人： | 王艾华 |
| 地址： | 710049 陕*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 熔锥型 光纤 马赫 增德尔 传感器 制备 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种熔锥型光纤马赫-增德尔传感器的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：
1)制备单多单的光纤马赫-增德尔基本结构，首先在两段单模光纤中加入一段多模光纤，纤芯直径为50um到100um之间，包层的直径为125um；
2)在多模光纤上用熔接机制作出粗锥耦合点，粗锥的位置在多模光纤的正中间，直径范围在165um-170um，锥长范围在410um-415um；
3)随后对该结构进行腐蚀，用氢氟酸对光纤传感壁进行腐蚀10-25分钟，用百分比浓度为1％-2％的NaOH溶液及去离子水清洗传感壁；
4)最后利用多参量矩阵方程，对该传感器进行温度、折射率多参量测量。
2.根据权利要求1所述的一种熔锥型光纤马赫-增德尔传感器的制备方法，其特征在于，所述的多模光纤的长度为10mm到100mm之间。
3.根据权利要求1所述的一种熔锥型光纤马赫-增德尔传感器的制备方法，其特征在于，所述步骤3)中百分比浓度为30％-50％氢氟酸。
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