[发明专利]玻璃板

说明书

本发明提供一种玻璃板。该玻璃板使成为吸附面的面粗糙化、且提高玻璃板的朝向判断性。玻璃板(1)包括第1主表面(10)、第2主表面(20)、第1端面(30)、第2端面(40)、第3端面(50)以及第4端面(60)。利用作为反应气体的氟化氢气体对第2主表面(20)进行蚀刻并且利用滞留气体(G)对第1端面(30)也进行蚀刻。其结果，第1主表面(10)的第1表面粗糙度小于第2主表面(20)的第2表面粗糙度，第1端面(30)的第1碎玻璃剥离率大于第2端面(40)的第2碎玻璃剥离率，由此，防止吸附于载物台的第2主表面(20)的剥离带电，容易利用第1端面(30)的表面粗糙化判断玻璃板(1)的方向性。

技术领域

本发明涉及一种使用于平板显示器等的玻璃板。

背景技术

在平板显示器等的制造工艺中，以真空吸附将玻璃板保持于载物台(台座)并安装电路等，在将玻璃板自载物台拆下时，会引起剥离带电而使玻璃板产生龟裂、裂纹，因此，为了防止剥离带电，公知有使吸附面表面粗糙化的方案(参照专利文献1)。

专利文献1公开有以下这样的玻璃板：该玻璃板包括作为形成半导体元件或彩色胶片的表面的第1表面、以及与第1表面相反的一侧的第2表面，第2表面具有大于-1.5且小于-0.5的Rsk，该玻璃板为使用了具有包含SiO₂、Al₂O₃以及B₂O₃的组成的硼铝硅酸盐玻璃的基板，利用表面处理降低与载置玻璃板的平台(载物台)表面接触的第2表面的面积，更有效地抑制玻璃基板的带电。

专利文献1：日本特开2014-69999号公报

发明内容

发明要解决的问题

在专利文献1中，通过防止第2表面的剥离带电而降低裂纹，但存在有难以通过判断将玻璃板装入托盘时的朝向等来提高作业性的课题。

本发明的目的在于提供一种使成为吸附面的面粗糙、且提高玻璃板的朝向的判断性的玻璃板。

用于解决问题的方案

本发明的玻璃板具有：第1主表面；第2主表面，其与所述第1主表面相对；以及端面，其连接所述第1主表面和所述第2主表面，所述端面包括第1端面，所述第1主表面的第1表面粗糙度小于所述第2主表面的第2表面粗糙度，所述第1端面的第1碎玻璃剥离率与其他的端面的碎玻璃剥离率不同。

发明的效果

采用本发明，能够提供一种利用反应气体对第2主表面进行表面粗糙化、从而防止吸附于载物台并自载物台剥离时的剥离带电、同时通过使第1端面的第1碎玻璃剥离率与其他的端面的碎玻璃剥离率不同而能够容易判断方向性的玻璃板。

附图说明

图1的(a)～图1的(b)表示本发明所涉及的玻璃板的一例子，图1的(a)是主视立体图，图1的(b)是输送装置内的输送状态的示意图。

图2的(a)～图2的(c)表示本发明所涉及的玻璃板的一例子，图2的(a)是主视图，图2的(b)是右侧视图，图2的(c)是仰视图。

图3是表示本发明所涉及的玻璃板的输送状态的一例子的示意图。

图4的(a)～图4的(b)表示测量本发明所涉及的玻璃板的第1主表面的氟量以及Al/Si比得到的结果，图4的(a)是测量点的主视图，图4的(b)是氟量以及Al/Si测量结果的表。

图5的(a)～图5的(b)是测量本发明所涉及的玻璃板的各端面中的碎玻璃剥离率得到的表，图5的(a)是第1样品，图5的(b)是第2样品。