[发明专利]FCOB芯片在芯片-传递装置的暂时存储有效
申请号: | 201710855050.1 | 申请日: | 2017-09-20 |
公开(公告)号: | CN107863314B | 公开(公告)日: | 2021-10-26 |
发明(设计)人: | 罗美尔·塞巴斯蒂安;罗斯曼·托马斯;特里贾尼·米歇尔 | 申请(专利权)人: | 先进装配系统有限责任两合公司 |
主分类号: | H01L21/677 | 分类号: | H01L21/677;H01L21/683 |
代理公司: | 北京申翔知识产权代理有限公司 11214 | 代理人: | 艾晶 |
地址: | 德国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | fcob 芯片 传递 装置 暂时 存储 | ||
1.一种将芯片(192)从晶片(195)传递到自动装配机(110)的装配头(136)上的芯片-传递装置(140),其特征在于:该芯片-传递装置(140)具有
可旋转的取出工具(150),其
(a)用来从晶片(195)上取出散开的芯片(192);
(b)用来翻转该取出的芯片(192),使之作为FCOB芯片(292a)提供给第一提取位置(256),以及
(c)用来将该取出的芯片(192)传递到可旋转的存储工具(170)上,使之作为COB芯片(292b)提供给第二提取位置(276);
可旋转的存储工具(170),其
(a)用来由取出工具(150)上取出散开的芯片(192);
(b)用来重新翻转该取出的芯片(192),使之作为COB芯片(292b)提供给第二提取位置(276),以及
(c)将通过存储工具(170)暂时存储的芯片(292a)回送到取出工具 (150)上,使之也作为另外的FCOB芯片(292a)最终翻转一次并且提供给第二提取位置(276);以及
处理器(144),其用来控制取出工具(150)和存储工具,
取出工具(150)具有多个径向突出的、用来分别暂时接纳芯片(192、292a、292b)的第一抽吸夹具(160),其中第一抽吸夹具(160)是主动的芯片-止动装置,其能够相对于取出工具(150)的第一旋转轴线(251)沿径向方向移动;以及
存储工具(170)具有多个径向突出的、用来分别暂时接纳另一芯片(192、292a、292b)的第二抽吸夹具(180),其中第二抽吸夹具(180)是被动的芯片-止动装置,其静止地设置在存储工具(170)的机架上,
其中存储工具包括一个共同的径向驱动器,用于在所述存储工具的设定角度位置径向地推移第二抽吸夹具。
2.根据权利要求1所述的芯片-传递装置(140),其特征在于:
第一抽吸夹具(160)分别具有第一气动的耦合元件(361),第一吸管(369)能够耦合到此耦合元件上;和/或
第二抽吸夹具(180)分别具有第二气动的耦合元件,第二吸管能够耦合到此耦合元件上。
3.根据权利要求1或2 所述的芯片-传递装置(140),其特征在于:
第一抽吸夹具(160) 和/或第二抽吸夹具(180)能够围绕着其纵向轴线旋转。
4. 根据权利要求1所述的芯片-传递装置(140),其特征在于:
第一抽吸夹具(160)能够相对于可旋转的取出工具(150)的机架沿径向方向位移,和/或
第二抽吸夹具(180)能够相对于可旋转的存储工具(170)的机架沿径向方向位移。
5. 根据权利要求4所述的芯片-传递装置(140),其特征在于:
取出工具(150)具有第一共同的径向驱动器,用于径向地推移第一抽吸夹具(160);和/或
其中存储工具(170)具有第二共同的径向驱动器,用于径向地推移第二抽吸夹具(180)。
6.根据权利要求1所述的芯片-传递装置(140),其特征在于:
第一抽吸夹具(160) 和/或第二抽吸夹具(180)至少沿径向方向弹性地支承着。
7.根据权利要求1所述的芯片-传递装置(140),其特征在于:
取出工具(150)具有第一抽吸夹具(160),该第一抽吸夹具的数量可被4整除,
存储工具(170)具有第二抽吸夹具(180),该第二抽吸夹具的数量可被4整除。
8.根据权利要求1所述的芯片-传递装置(140),其特征在于:
第二抽吸夹具(180)的数量多于第一抽吸夹具 (160)。
9.根据权利要求8所述的芯片-传递装置(140),其特征在于:第二抽吸夹具(180)的数量是第一抽吸夹具(160)的两倍或四倍。
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