[发明专利]掺氮单晶硅棒及其生产方法在审
| 申请号： | 201710853927.3 | 申请日： | 2017-09-20 |
| 公开（公告）号： | CN109518269A | 公开（公告）日： | 2019-03-26 |
| 发明（设计）人： | 刘学;武志军;张全顺;刘伟;张文霞;谷守伟;李建弘;高树良;张雪囡 | 申请（专利权）人： | 内蒙古中环光伏材料有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/04 | 分类号： | C30B15/04;C30B15/20;C30B15/36;C30B29/06 |
| 代理公司： | 天津诺德知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 12213 | 代理人： | 栾志超 |
| 地址： | 010070 内蒙古自*** | 国省代码： | 内蒙古;15 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 氮气 单晶硅棒 等径阶段 收尾阶段 氮化硅 掺氮 全程 高纯度氮气 高纯度氩气 影响单晶 保护气 氮元素 低成本 晶体的 液态硅 单晶 等径 生产成本 保证 生产 替代 引入 | ||
【权利要求书】：
1.一种掺氮单晶硅棒的生产方法，其特征在于：在等径阶段和/或收尾阶段全程通入氮气。
2.根据权利要求1所述的一种掺氮单晶硅棒的生产方法，其特征在于：所述氮气的纯度为98％以上。
3.根据权利要求2所述的一种掺氮单晶硅棒的生产方法，其特征在于：所述氮气的纯度为99.9％以上。
4.根据权利要求1-3任一所述的一种掺氮单晶硅棒的生产方法，其特征在于：所述氮气的压力为0.2-1MPa。
5.根据权利要求4所述的一种掺氮单晶硅棒的生产方法，其特征在于：所述氮气的压力为0.6MPa。
6.根据权利要求1-3任一所述的一种掺氮单晶硅棒的生产方法，其特征在于：通入氮气的流量为1-200L/min。
7.根据权利要求6所述的一种掺氮单晶硅棒的生产方法，其特征在于：通入氮气的流量为80L/min。
8.一种掺氮单晶硅棒，由权利要求1-7任一所述的生产方法制备。
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