[发明专利]靶材固定装置及靶材固定方法

权利要求书

1.一种靶材固定装置，用于靶材在更换过程中的固定，其特征在于，所述靶材固定装置包括基板以及镜面层，所述镜面层包括第一表面以及与第一表面相对的第二表面，所述镜面层与所述靶材依次放置于所述基板上，且所述靶材吸附贴合于所述镜面层的所述第一表面，所述镜面层的所述第二表面与所述基板贴合；所述镜面层镜面吸附固定所述靶材；所述镜面层为钛合金镜面层。

2.如权利要求1所述的靶材固定装置，其特征在于，所述基板的周缘设有陶瓷定位架，所述陶瓷定位架定位于所述基板的周缘且将所述靶材固定。

3.如权利要求1所述的靶材固定装置，其特征在于，所述靶材固定装置还包括夹具以及第一驱动件，所述第一驱动件连接于所述夹具，所述第一驱动件驱动所述夹具夹紧所述基板相对两侧。

4.如权利要求3所述的靶材固定装置，其特征在于，所述第一驱动件为气缸或者马达。

5.如权利要求3所述的靶材固定装置，其特征在于，所述靶材固定装置还包括支撑体以及第二驱动件，所述支撑体支撑所述基板，所述第二驱动件连接于所述支撑体，用以驱动所述支撑体上升以及下降。

6.如权利要求5所述的靶材固定装置，其特征在于，所述第二驱动件是气缸或者马达。

7.如权利要求5或6所述的靶材固定装置，其特征在于，所述靶材固定装置还包括控制装置，所述控制装置用于控制所述第一驱动件以及第二驱动件的启动以及关闭。

8.一种应用权利要求2-7任一项所述的靶材固定装置的靶材固定的方法，其特征在于，包括：

对所述靶材固定装置中的镜面层进行清洁；所述镜面层为钛合金镜面层；

将靶材压合到清洁后的所述镜面层表面；

采用所述陶瓷定位架定位所述靶材。

9.如权利要求8所述的靶材固定的方法，其特征在于，对所述靶材固定装置中的镜面层进行清洁的步骤之前还包括采用支撑体支撑基板的方式以及采用夹具夹紧所述基板相对两侧的方式接收吸附有所述靶材的所述靶材固定装置。