[发明专利]散热装置及其制造方法

权利要求书

1.一种散热装置，其特征是包含：

一第一钛金属板体，具有一第一平面及一第二平面，所述第一平面具有复数凸部；

一第二钛金属板体，具有一第三平面及一第四平面，所述第三平面设有一金属网目，所述第一钛金属板体、第二钛金属板体对应盖合并共同界定一密闭腔室，该密闭腔室填充有一工作流体。

2.根据权利要求1所述的散热装置，其特征在于：该复数凸部通过冲压加工所形成。

3.根据权利要求1所述的散热装置，其特征在于：该复数凸部表面具有一第一镀层，该金属网目与该第三平面间具有一第二镀层，所述金属网目表面具有一第三镀层，所述第一镀层、第二镀层、第三镀层是亲水性镀层或疏水性镀层。

4.根据权利要求3所述的散热装置，其特征在于：所述亲水性镀层是二氧化钛或二氧化硅。

5.根据权利要求1所述的散热装置，其特征在于：该第二平面是冷凝侧，所述第四平面是吸热侧。

6.根据权利要求1所述的散热装置，其特征在于：所述金属网目是钛或不锈钢或铜或铝或其他金属材质。

7.根据权利要求1所述的散热装置，其特征在于：所述金属网目具有一第一金属网目及一第二金属网目，所述第一金属网目是钛材质，所述第二金属网目是不锈钢材质，并所述第一金属网目、第二金属网目彼此堆叠设置。

8.一种散热装置的制造方法，其特征是包含下列步骤：

准备一第一钛金属板体及一第二钛金属板体，并进行前置清洗作业；

对前述第一钛金属板体、第二钛金属板体进行热处理；

在前述第一钛金属板体进行冲压加工形成复数凸部；

在该第二钛金属板体一侧结合一金属网目；

将前述第一钛金属板体具有凸部的一侧与该第二钛金属板体具有金属网目的一侧对应盖合并进行封边、填水、抽气、封口作业。

9.根据权利要求8所述的散热装置的制造方法，其特征在于：清洗作业是先以丙酮擦拭，然后再以超音波清洗机加入去离子水冲洗，最后用氮气干燥第一钛金属板体、第二钛金属板体表面。

10.根据权利要求8所述的散热装置的制造方法，其特征在于：所述第一钛金属板体、第二钛金属板体进行热处理，是将该第一钛金属板体、第二钛金属板体置入一气氛炉，并在该气氛炉中通入氩气。

11.根据权利要求8所述的散热装置的制造方法，其特征在于：具有一步骤：对前述第一钛金属板体、第二钛金属板体进行表面改质处理，在该第一钛金属板体、第二钛金属板体及该金属网目表面形成至少一镀层。

12.根据权利要求11所述的散热装置的制造方法，其特征在于：所述镀层为亲水性镀层或疏水性镀层。

13.根据权利要求11所述的散热装置的制造方法，其特征在于：所述镀层是二氧化钛或二氧化硅。

14.根据权利要求8所述的散热装置的制造方法，其特征在于：所述金属网目通过扩散接合与前述第二钛金属板体结合。

15.根据权利要求14所述的散热装置的制造方法，其特征在于：所述扩散接合的温度为650℃～850℃，工作时间为30min～90min。

16.根据权利要求11所述的散热装置的制造方法，其特征在于：对前述第一钛金属板体、第二钛金属板体进行表面改质处理，是将该第一钛金属板体、第二钛金属板体置入一气氛炉，并在该气氛炉中通入氩气，令该第一钛金属板体、第二钛金属板体表面产生过热还原。

17.根据权利要求11所述的散热装置的制造方法，其特征在于：对前述第一钛金属板体、第二钛金属板体进行表面改质处理，是将该第一钛金属板体、第二钛金属板体置入一气氛炉，并在该气氛炉中抽真空，令该第一钛金属板体、第二钛金属板体表面产生过热还原。

18.根据权利要求11所述的散热装置的制造方法，其特征在于：对前述第一钛金属板体、第二钛金属板体进行表面改质处理，通过溶胶凝胶镀膜(Sol-gel coating)并将该第一钛金属板体、第二钛金属板体置入一气氛炉，令该第一钛金属板体、第二钛金属板体表面产生一镀层。

19.根据权利要求18所述的散热装置的制造方法，其特征在于：所述镀层是二氧化钛。