[发明专利]散热单元的制造方法

权利要求书

1.一种散热单元的制造方法，其特征是包含下列步骤：

准备一第一钛金属板体及一第二钛金属板体，并进行前置清洗作业；

对前述第一钛金属板体、第二钛金属板体进行热处理；

在前述第一钛金属板体进行冲压加工形成复数凸部；

在该第二金属板体一侧结合一金属网目；

将前述第一钛金属板体、第二钛金属板体设置于真空环境中，并将该第二钛金属板体具有金属网目的一侧填充工作液体；

将该第一钛金属板体具有凸部的一侧与该第二钛金属板体具有金属网目的一侧对应盖合，并通过激光焊接进行封边。

2.根据权利要求1所述的散热单元的制造方法，其特征在于：清洗作业是先以丙酮擦拭，然后再以超音波清洗机加入去离子水冲洗，最后用氮气干燥第一钛金属板体、第二钛金属板体表面。

3.根据权利要求1所述的散热单元的制造方法，其特征在于：第一钛金属板体、第二钛金属板体进行热处理，是将该第一钛金属板体、第二钛金属板体置入一气氛炉，并在该气氛炉中通入氩气并加热至400℃～700℃，时间为30～90分钟。

4.根据权利要求1所述的散热单元的制造方法，其特征在于：具有一步骤：对前述第一钛金属板体、第二钛金属板体及金属网目进行表面改质处理，在该第一钛金属板体、第二钛金属板体及该金属网目表面形成至少一镀层。

5.根据权利要求4所述的散热单元的制造方法，其特征在于：所述镀层为亲水性镀层或疏水性镀层。

6.根据权利要求4所述的散热单元的制造方法，其特征在于：所述镀层是二氧化钛或二氧化硅。

7.根据权利要求1所述的散热单元的制造方法，其特征在于：所述金属网目通过扩散接合与前述第二钛金属板体结合。

8.根据权利要求7所述的散热单元的制造方法，其特征在于：所述扩散接合的温度650℃～850℃，工作时间为30min～90min。

9.根据权利要求4所述的散热单元的制造方法，其特征在于：对前述第一钛金属板体、第二钛金属板体及金属网目进行表面改质处理，是将该第一钛金属板体、第二钛金属板体置入一气氛炉，并在该气氛炉中通入氩气，令该第一钛金属板体、第二钛金属板体表面产生过热还原。

10.根据权利要求4所述的散热单元的制造方法，其特征在于：对前述第一钛金属板体、第二钛金属板体及金属网目进行表面改质处理，是将该第一钛金属板体、第二钛金属板体置入一气氛炉，并在该气氛炉中抽真空，令该第一钛金属板体、第二钛金属板体表面产生过热还原。

11.根据权利要求4所述的散热单元的制造方法，其特征在于：对前述第一钛金属板体、第二钛金属板体及金属网目进行表面改质处理，是通过溶胶-凝胶法将该第一钛金属板体、第二钛金属板体置入一气氛炉，并在该气氛炉中抽真空，令该第一钛金属板体、第二钛金属板体表面产生一镀层。

12.根据权利要求11所述的散热单元的制造方法，其特征在于：所述镀层是二氧化钛。

13.根据权利要求4所述的散热单元的制造方法，其特征在于：对前述第一钛金属板体、第二钛金属板体及金属网目进行表面改质处理，是通过溶胶-凝胶法并将该第一钛金属板体、第二钛金属板体置入一气氛炉，令该第一钛金属板体、第二钛金属板体表面产生一镀层。

14.根据权利要求1所述的散热单元的制造方法，其特征在于：对前述第一钛金属板体、第二钛金属板体对应盖合并进行封边，所使用的激光焊接波长是1030nm，激光功率100～500W，真空环境10^-2torr中进行。

15.根据权利要求1所述的散热单元的制造方法，其特征在于：所述金属网目是钛材质或不锈钢材质。

16.根据权利要求1所述的散热单元的制造方法，其特征在于：所述金属网目同时选择两片金属网目，其一选择钛材质另一选择为不锈钢材质，两片金属网目相互叠合设置于该第一钛金属板体、第二钛金属板体之间。

17.根据权利要求9或10或11或13所述的散热单元的制造方法，其特征在于：该气氛炉加热至400℃～700℃，时间为30～90分钟。