[发明专利]一种高温氢气退火炉炉门密封装置在审
申请号: | 201710847166.0 | 申请日: | 2017-09-19 |
公开(公告)号: | CN109518281A | 公开(公告)日: | 2019-03-26 |
发明(设计)人: | 赵志然;舒勇东;张宝锋;陈晖 | 申请(专利权)人: | 中国电子科技集团公司第四十八研究所 |
主分类号: | C30B33/02 | 分类号: | C30B33/02 |
代理公司: | 湖南兆弘专利事务所(普通合伙) 43008 | 代理人: | 周长清;徐好 |
地址: | 410111 湖南*** | 国省代码: | 湖南;43 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 密封法兰 反应管 退火炉 法兰 炉门密封装置 高温氢气 固定法兰 密封炉门 密封圈 固定法兰套 密封法兰套 法兰外周 密封性好 主动散热 开口端 紧靠 外周 | ||
1.一种高温氢气退火炉炉门密封装置,其特征在于:包括第一密封法兰(4)、第二密封法兰(6)、密封炉门(7)、以及用于固定第一密封法兰(4)和第二密封法兰(6)的固定法兰(2),退火炉的反应管(1)开口端设有反应管法兰(12),所述固定法兰(2)套设于所述反应管(1)外周并紧靠于所述反应管法兰(12)上,所述第一密封法兰(4)套设于所述反应管法兰(12)外周,所述第二密封法兰(6)设于所述第一密封法兰(4)远离所述固定法兰(2)的一侧,所述密封炉门(7)与所述第二密封法兰(6)之间设有第一密封圈(71),所述第一密封法兰(4)和所述第二密封法兰(6)均为主动散热法兰。
2.根据权利要求1所述的高温氢气退火炉炉门密封装置,其特征在于:所述固定法兰(2)、所述反应管法兰(12)和所述第一密封法兰(4)的接缝处设有第二密封圈(3),所述反应管法兰(12)、所述第一密封法兰(4)和所述第二密封法兰(6)的接缝处设有第三密封圈(5)。
3.根据权利要求1或2所述的高温氢气退火炉炉门密封装置,其特征在于:所述第一密封法兰(4)为液冷法兰,所述第二密封法兰(6)为风冷法兰。
4.根据权利要求3所述的高温氢气退火炉炉门密封装置,其特征在于:所述第一密封法兰(4)内部沿周向设有冷却液流道(45),所述冷却液流道(45)内设有冷却液堵块(44),所述第一密封法兰(4)上设有与所述冷却液流道(45)连通的进液管(41)和回液管(42),所述进液管(41)和所述回液管(42)分设于所述冷却液堵块(44)两侧。
5.根据权利要求4所述的高温氢气退火炉炉门密封装置,其特征在于:所述冷却液堵块(44)上开设有安装孔,所述安装孔内设有用于检测所述反应管法兰(12)温度的温度热偶(43)。
6.根据权利要求3所述的高温氢气退火炉炉门密封装置,其特征在于:所述第二密封法兰(6)内部沿周向设有冷却气体流道(67),所述冷却气体流道(67)内设有冷却气体堵块(66),所述第二密封法兰(6)上设有与所述冷却气体流道(67)连通的进气管(61)和回气管(62),所述进气管(61)和所述回气管(62)分设于所述冷却气体堵块(66)两侧。
7.根据权利要求6所述的高温氢气退火炉炉门密封装置,其特征在于:所述第二密封法兰(6)还配置有用于排放所述反应管(1)内尾气的尾气管道(63),所述尾气管道(63)包括开设于所述冷却气体堵块(66)上的排气孔(631)、以及焊接于第二密封法兰(6)上与排气孔(631)对应处的转接头(632)。
8.根据权利要求1或2所述的高温氢气退火炉炉门密封装置,其特征在于:所述固定法兰(2)沿周向设有多个第一连接座(21),所述第二密封法兰(6)沿周向设有多个第二连接座(64),多个第一连接座(21)与多个第二连接座(64)通过紧固件一一对应连接。
9.根据权利要求8所述的高温氢气退火炉炉门密封装置,其特征在于:所述第二密封法兰(6)沿周向设有多个用于固定所述第一密封法兰(4)的挡块(65),所述挡块(65)与所述第一密封法兰(4)圆周面紧贴。
10.根据权利要求1或2所述的高温氢气退火炉炉门密封装置,其特征在于:所述密封炉门(7)上设有密封凹槽,所述第一密封圈(71)安装于所述密封凹槽内。
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