[发明专利]一种芯片烧结品、子单元、IGBT封装模块及制备方法有效
申请号: | 201710846539.2 | 申请日: | 2017-09-19 |
公开(公告)号: | CN107845617B | 公开(公告)日: | 2020-12-15 |
发明(设计)人: | 田丽纷;李现兵;张朋;武伟;林仲康;石浩;张喆;唐新灵;王亮 | 申请(专利权)人: | 全球能源互联网研究院有限公司;国网山东省电力公司电力科学研究院;国家电网有限公司 |
主分类号: | H01L23/488 | 分类号: | H01L23/488;H01L25/16;H01L21/603 |
代理公司: | 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250 | 代理人: | 李敏 |
地址: | 102209 北京*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 芯片 烧结 单元 igbt 封装 模块 制备 方法 | ||
1.一种芯片烧结品,包括第一钼片和第二钼片以及设置于两者间的芯片,其特征在于,
所述第一钼片和所述第二钼片中至少一个为预制钼片,所述预制钼片为表面设置预制纳米银膜的钼片,且所述芯片中至少一面与所述预制纳米银膜相接触;预制纳米银膜是直接制得的纳米银膜,不同于采用纳米焊膏经烧结得到的纳米银膜,所述预制钼片是将预制纳米银膜压制于钼片上而得到的。
2.根据权利要求1所述的芯片烧结品,其特征在于,所述预制钼片为双面设置有预制纳米银膜的钼片。
3.根据权利要求1或2所述的芯片烧结品,其特征在于,所述第一钼片和所述第二钼片均为预制钼片。
4.根据权利要求1或2所述的芯片烧结品,其特征在于,所述预制纳米银膜的厚度为30~100 μm;
所述预制纳米银膜中纳米银的质量分数为70-80%;
所述预制纳米银膜中纳米银的平均直径为10-15nm。
5.根据权利要求4所述的芯片烧结品,其特征在于,所述预制纳米银膜的厚度为30~40μm;
所述预制纳米银膜中纳米银的质量分数为70-75%;
所述预制纳米银膜中纳米银的平均直径为13-15nm。
6.一种芯片子单元,其特征在于,包括权利要求1-5中任一项所述的芯片烧结品。
7.根据权利要求6所述的芯片子单元,其特征在于,还包括,
金属支撑片,与所述第二钼片相接触,用于支撑所述芯片烧结品;
子单元框架,其一端开口,其内设置适于支撑所述金属支撑片的支撑单元;
连接单元,一端与所述芯片上的栅极接触,以保证其与所述栅极的电连通。
8.一种IGBT封装模块,其特征在于,包括权利要求7所述的芯片子单元。
9.根据权利要求8所述的IGBT封装模块,其特征在于,还包括,
管壳,具有上端开口的容置内腔,用于放置所述芯片子单元;
发射极,设置于所述管壳底部的内腔中,所述连接单元的另一端与所述发射极接触,以实现所述栅极与所述发射极的电连通;
若干第一凸台和若干第二凸台,均设置于所述发射极上,所述第一凸台适于插接安装所述芯片子单元,所述第二凸台适于插接安装FRD;
集电极,盖合于所述管壳上端开口上,且与上钼片接触。
10.根据权利要求9所述的IGBT封装模块,其特征在于,所述第一凸台成阵列排布于所述发射极中间位置,形成第一凸台组;
所述第二凸台靠近所述发射极边缘设置,且环绕所述第一凸台组形成第二凸台组。
11.一种权利要求1-5中任一项所述芯片烧结品的制备方法,包括如下步骤:
1)将所述预制纳米银膜放置于钼片上,进行一次加压烧结,制得预制钼片;
2)将所述芯片放置于两个所述预制钼片间,或,
将所述芯片放置于钼片和所述预制钼片间,进行二次加压烧结,制得芯片烧结品。
12.根据权利要求11所述的制备方法,其特征在于,步骤1)中,所述一次加压烧结的温度为100-150℃,加压压力为1-5MPa。
13.根据权利要求12所述的制备方法,其特征在于,所述一次加压烧结为从室温以3-8℃/min的升温速率升至100-150℃,并保温5-10min。
14.根据权利要求11-13中任一项所述的制备方法,其特征在于,步骤2)中,所述二次加压烧结的温度为210-300℃,加压压力为10-40MPa。
15.根据权利要求14所述的制备方法,其特征在于,所述二次加压烧结为从室温以3-8℃/min的升温速率升至210-300℃,并保温15-60min。
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