[发明专利]一种白光自干涉表面检测仪

权利要求书

1.一种白光自干涉表面检测仪，其特征在于，包括载物台以及设置于载物台上的显微镜光路和成像光路；所述显微镜光路由上至下依次包括科勒照明系统光源、孔径光阑、分光棱镜和物镜，所述孔径光阑上设有随机分布的阵列针孔；所述成像光路由外至内依次包括CCD、傅里叶变换镜头、纯位相液晶光阀和望远透镜；所述显微镜光路的光轴与载物台垂直，所述成像光路的光轴与显微镜光路的光轴垂直，且显微镜光路的光轴与成像光路的光轴的交点在分光棱镜的分光面上。

2.如权利要求1所述的白光自干涉表面检测仪，其特征在于，所述科勒照明系统光源包括依次设置的卤素灯灯丝、磨砂片和起偏片，所述卤素灯灯丝连接于可调电压。

3.如权利要求1所述的白光自干涉表面检测仪，其特征在于，所述分光棱镜为宽带分光棱镜。

4.如权利要求1所述的白光自干涉表面检测仪，其特征在于，所述纯位相液晶光阀为纯位相电寻址PAL型液晶光阀，所述液晶光阀连接于电脑，由电脑控制其显示内容。

5.如权利要求1所述的白光自干涉表面检测仪，其特征在于，所述科勒照明系统光源和孔径光阑之间还设置有集光镜，所述孔径光阑位于所述集光镜的后焦面上，且所述孔径光阑与所述物镜的后焦面共轭。

6.如权利要求1所述的白光自干涉表面检测仪，其特征在于，所述孔径光阑和分光棱镜之间还设置有视野光阑和聚光镜，所述视野光阑设置于所述聚光镜的前焦面上。

7.如权利要求1所述的白光自干涉表面检测仪，其特征在于，所述载物台设置于六维调整台上。

8.如权利要求1所述的白光自干涉表面检测仪，其特征在于，所述成像光路设置于所述分光棱镜的左侧，所述分光棱镜的右侧壁上贴有消光纸。

9.如权利要求1所述的白光自干涉表面检测仪，其特征在于，所述CCD以及所述傅里叶变换镜头的光路光轴倾斜，且与所述纯位相液晶光阀显示的光栅的一次光方向对齐。

10.如权利要求1所述的白光自干涉表面检测仪，其特征在于，所述物镜为无限远平场消色差物镜，所述物镜的放大倍数为10x、20x或40x，所述物镜的数值孔径在0.3-0.85之间。