[发明专利]一种基于Micro-LED无掩模固定式紫外曝光机在审
| 申请号： | 201710845328.7 | 申请日： | 2017-09-18 |
| 公开（公告）号： | CN109521644A | 公开（公告）日： | 2019-03-26 |
| 发明（设计）人： | 孙雷 | 申请（专利权）人： | 北京德瑞工贸有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100083 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 紫外曝光机 固定式 无掩模 曝光工件 图形控制 能量利用效率 自动化流水线 曝光 技术进步 曝光图形 软件控制 计算机 工作台 光机 加工 | ||
1.一种基于Micro-LED无掩模固定式紫外曝光机，其特征在于，包括Micro-LED、计算机及图形控制软件、待曝光工件表面和工作台。
2.如权利要求1所述的一种基于Micro-LED无掩模固定式紫外曝光机，其特征在于，所述Micro-LED是在芯片集成高密度微小尺寸LED阵列，并保证每一个LED像素可定址，并单独驱动点亮的一种微型显示芯片及其各种封装产品。
3.如权利要求1所述的一种基于Micro-LED无掩模固定式紫外曝光机，其特征在于，所述Micro-LED为作为光源及图形投影，光波长为190～420nm，每个LED像素尺寸为：长≥2μm，宽≥2μm。LED阵列的行数M≥2，列数N≥2。
4.如权利要求1所述的一种基于Micro-LED无掩模固定式紫外曝光机，其特征在于，所述计算机及图形控制软件是指图形分切，瞬时图形数据向Micro-LED传输。
5.如权利要求1所述的一种基于Micro-LED无掩模固定式紫外曝光机，其特征在于，所述待曝光工件表面与Micro-LED平行，Micro-LED和待曝光工件表面没有相对运动。
6.如权利要求1所述的一种基于Micro-LED无掩模固定式紫外曝光机，其特征在于，所述Micro-LED与待曝光工件表面没有间隙或有较小间隙，这样保证单个Micro-LED像素发射光线抵达待曝光工件表面光程较小进而形成较小的光斑，保证曝光图像精度。
7.如权利要求1所述的一种基于Micro-LED无掩模固定式紫外曝光机，其特征在于，所述工作台用于放置待曝光工件表面。
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