[发明专利]镀膜线平面阴极短路检修方法

说明书

本发明属于玻璃生产设备技术领域，尤其涉及一种镀膜线平面阴极短路检修方法，操作时，首先确定出平面阴极出现短路故障，进而采用隔离变压器、连接线组和控制开关组，并将隔离变压器的高压侧接入220V或380v单相电、将隔离变压器的二次侧通过连接线组与平面阴极的阴极和阳极和控制开关组连接形成负载输出回路，如此便可进行对平面阴极短路故障的检修和修复工作。断开直流电源并闭合控制开关组N次，并于每次断开控制开关组时测量平面阴极对地的电阻，若电阻值为零则重新开始上述步骤，若电阻值不为零则说明平面阴极短路故障消除，如此就有效的解决了镀膜线平面阴极出现短路造成跳靶后无法再次开启的技术问题。

技术领域

本发明属于玻璃生产设备技术领域，尤其涉及一种镀膜线平面阴极短路检修方法。

背景技术

磁控溅射镀膜线在正常生产过程中，平面阴极与阳极底板之间空间狭小，在磁场作用下容易生长针状毛刺，一旦平面阴极与阳极底板连通瞬间便短路造成跳靶，直流电源由于有短路保护而无法开启。在此种情况下，现有技术的一般做法是多次尝试开启直流电源，而无法开启则需要放气处理，如此不但造成时间浪费，且成本相应地提高，还可能造成生产期限的延误。

发明内容

本发明的目的在于提供一种镀膜线平面阴极短路检修方法，旨在解决现有技术中镀膜线平面阴极出现短路造成跳靶后无法再次开启的技术问题。

为实现上述目的，本发明采用的技术方案是：一种镀膜线平面阴极短路检修方法，包括如下步骤：

S1：确定平面阴极出现短路故障，判断出直流电源无法开启，且所述平面阴极对地的电阻为零；

S2：提供隔离变压器、连接线组和控制开关组，将所述隔离变压器的高压侧接入220V或380v单相电、所述隔离变压器的二次侧通过所述连接线与所述平面阴极的阴极端、所述平面阴极的阳极端和所述控制开关组连接形成负载输出回路；

S3：断开所述直流电源；

S4：闭合所述控制开关组N次，N≥2；并于每次断开所述控制开关组时测量所述平面阴极对地的电阻；

S5：测量所述平面阴极对地的电阻阻值大小，若所述平面阴极对地的电阻阻值为零则返回操作所述步骤S4，若所述平面阴极对地的电阻阻值不为零则开启直流电源点靶。

进一步地，所述隔离变压器的高压侧设有用于接通220V或380v单相电的高压输入端，所述隔离变压器的二次侧设有用于输出12V或24V单相电的低压输出端。

进一步地，所述连接线组包括阳极连接线和阴极连接线，所述阳极连接线的两端分别与所述隔离变压器的低压输出端和所述平面阴极的阳极端电性连接，所述阴极连接线的两端分别与所述隔离变压器的低压输出端和所述平面阴极的阴极端电性连接。

进一步地，所述隔离变压器的低压输出端设有用于与所述阳极连接线电性连接的阳极接口和用于与所述阴极连接线电性连接的阴极接口。

进一步地，所述阳极连接线的直径和所述阴极连接线的直径均为2.5mm或4.0mm。

进一步地，所述阳极连接线和所述阴极连接线均为单芯铜线或多芯铜线。

进一步地，所述控制开关组包括第一控制开关，所述第一控制开关设于所述隔离变压器与所述220V或380v单相电的输出端之间并与所述隔离变压器和所述220V或380v单相电的输出端电性连接。

进一步地，所述控制开关组还包括第二控制开关，所述第二控制开关设于所述阳极连接线上且与所述隔离变压器的低压输出端和所述平面阴极的阳极端电性连接。

进一步地，所述第一控制开关和所述第二控制开关均为闸刀开关。

进一步地，在所述步骤S4中，先将所述第一控制开关闭合，然后闭合所述第二控制开关N次，其中N≥2。