[发明专利]一种CCD晶圆绝缘电阻测试装置

说明书

技术领域

本发明涉及微电子测试技术领域，具体是一种CCD晶圆绝缘电阻测试装置。

背景技术

CCD即电子耦合器件，是探测领域内灵敏度极高的一种光电探测通用产品，可以成像，不受环境限制，在诸多领域应用广泛。

CCD晶圆的引脚有近10路的脉冲激励和近10路的直流电源激励所构成的输入端，器件工艺结构复杂，工艺加工难度较高，造成晶圆的成品率不高。而且这近20路的输入端之间，会存在相互之间短路或较小阻抗连接的情况，如果各路引脚间绝缘电阻过小，各通路会互相影响，直接封装后测试，存在很大的弊端。

另外,CCD特殊管壳特别昂贵，造成封装成本过高；因近20路的输入端，电压信号最低到-6V、最高到+50V，直接在CCD电性能测试系统上测试，极易烧坏测试设备，造成设备故障频出，维修成本极高。

目前，业界能够测试绝缘特性的设备有半导体特性分析仪、半导体图示仪、绝缘电阻测试仪、通用ATE等；这些设备共同特性都是只能进行单通道测量，并且设备价格比较昂贵，国产设备在数万元，进口设备在数十万元。

发明内容

本发明的目的在于提供一种CCD晶圆绝缘电阻测试装置，该测试装置能够对各种型号的CCD晶圆进行多通道间绝缘特性测试，成本低、具有很强的通用性。

本发明解决其技术问题所采用的技术方案是：

一种CCD晶圆绝缘电阻测试装置，包括探针台、矩阵开关模块、信号采样电路、信号放大与滤波电路、A/D转换电路、单片机、直流电源以及上位机；所述探针台用于承载待测CCD晶圆，探针台的探针卡用于连接待测CCD晶圆的引脚，矩阵开关模块通过探针卡与待测CCD晶圆的引脚相连；所述单片机控制矩阵开关模块中各个开关与待测CCD晶圆引脚通道之间的切换；

矩阵开关模块包含待测引脚矩阵开关组与加压矩阵开关组，通过加压矩阵开关组将直流电源作为激励施加在待测CCD晶圆引脚通道之间,待测引脚矩阵开关组与信号采样电路入口相连，信号采样电路出口依次连接信号放大与滤波电路、A/D转换电路、单片机与上位机；单片机将收到的测试信号与设定值进行比较，判断测量通道间的绝缘特性，并将测试结果发送给上位机进行保存与显示。

本发明的有益效果是，通过矩阵开关模块可以遍历CCD晶圆的所有引脚通道，实现多通道间绝缘特性测试，对于不同型号的CCD晶圆，只需更换相匹配的矩阵开关模块与探针卡即可，测试成品非常低，成套设备千元左右，具有很强的通用性，而且能够实现自动测试和保存数据等功能。

附图说明

下面结合附图和实施例对本发明进一步说明：

图1是本发明的电气原理框图。

具体实施方式

如图1所示，本发明提供一种CCD晶圆绝缘电阻测试装置，包括探针台1、矩阵开关模块4、信号采样电路6、信号放大与滤波电路7、A/D转换电路8、单片机9、直流电源5以及上位机10；探针台1用于承载待测CCD晶圆3，探针台1的探针卡2用于连接待测CCD晶圆3的引脚，矩阵开关模块4通过探针卡2与待测CCD晶圆3的引脚相连；单片机9控制矩阵开关模块4中各个开关与待测CCD晶圆3引脚通道之间的切换；单片机9还对探针台1进行控制。

矩阵开关模块4包含加压矩阵开关组4a与待测引脚矩阵开关组4b，通过加压矩阵开关组4a将直流电源5作为激励施加在待测CCD晶圆3引脚通道之间,待测引脚矩阵开关组4b与信号采样电路6入口相连，信号采样电路6出口依次连接信号放大与滤波电路7、A/D转换电路8、单片机9与上位机10。

信号采样电路6将待测引脚通道反馈的电流信号转换为电压信号，电压信号通过放大与滤波电路7的放大与滤波后发送给A/D转换电路8，A/D转换电路8将模拟信号转换为数字信号发送给单片机9，单片机9将收到的测试信号与设定值进行比较，判断测量通道间的绝缘特性，并将测试结果发送给上位机10进行保存与显示。

以上所述，仅是本发明的较佳实施例而已，并非对本发明作任何形式上的限制；任何熟悉本领域的技术人员，在不脱离本发明技术方案范围情况下，都可利用上述揭示的方法和技术内容对本发明技术方案做出许多可能的变动和修饰，或修改为等同变化的等效实施例。因此，凡是未脱离本发明技术方案的内容，依据本发明的技术实质对以上实施例所做的任何简单修改、等同替换、等效变化及修饰，均仍属于本发明技术方案保护的范围内。