[发明专利]一种真空充气设备及实现方法

说明书

本发明公开了一种真空充气设备及实现方法。该设备密封罩、温控工装、工作台、温控器、洁净仪、充气装置和分子泵；工作台上安装有抽气口、抽放气口和密封插座；温控工装安装于由密封罩和工作台形成的密闭空间内；抽放气口向外引出抽放气总管路，所述抽放气总管路连通分子泵和充气装置；抽放气总管路上还设置有薄膜规和电离规；抽气口向外引出洁净度测量管路；所述洁净度测量管路还连接洁净仪；温控器通过密封插座与温控工装的温度控制线路连接。本发明实现了保证在精密仪表密封腔内充入气体的纯度、洁净度、温度和压强，从而提高产品生产质量、效率和使用寿命的目的。

技术领域

本发明涉及密封容器充气技术，尤其涉及一种真空充气设备及实现方法。

背景技术

在精密仪器仪表领域，部分零组件或元器件需要密封在充气容器中才能正常工作，充入的气体主要有以下几个方面的作用：(1)提供洁净工作环境，保证精密元件工作的可靠性和耐久性，防止多余物污染影响元器件工作性能的稳定性；(2)在充气容器中充入特定气体便于密封完成后对充气容器进行检漏，例如充入氦气后，可以通过还质谱仪直接进行检漏，保证产品的密封效果；(3)充入高纯度洁净惰性气体防止充气容器内部元器件的材料发生氧化或挥发，防止材料发生质变或运行环境气体污染；(4)通过充气和密封温度过程环境温度控制和充气压力控制，保证仪表在工作温度下充气容器内的气体压强一致性。真空充气设备是高精度仪器仪表生产过程中的一种必要设备，对控制产品生产工艺过程、提高产品生产质量和使用寿命具有重要作用。

传统的充气方法是，直接对密封罩内进行抽真空处理后，放入待充气体，然后进行密封。该方法对充气过程缺乏量化控制，主要表现在以下几个方面：(1)充气和密封环境温度随工作环境温度变化，无法精确控制充入气体温度，且存在密封过程中因环境温度变化导致空气吸入充气容器的风险；(2)充入气体缺乏洁净度检测环节，难以保证充入气体的洁净度；(3)充气过程气体压力缺乏有效控制，存在安全风险；(4)充气前仅采用机械泵进行抽真空处理,真空度低，需进行多次反复抽放，充气时间长，影响充入气体的纯度和生产效率。

发明内容

本发明解决的技术问题是：克服现有技术的不足，提供一种真空充气装置及实现方法，实现了保证在精密仪表密封腔内充入气体的纯度、洁净度、温度和压强，从而提高产品生产质量、效率和使用寿命的目的。

本发明的上述目的通过以下技术方案予以实现：

第一方面，本发明提供了一种真空充气设备，包括密封罩、温控工装、工作台、温控器、洁净仪、充气装置和分子泵；

所述工作台上安装有抽气口、抽放气口和密封插座；所述温控工装安装于由所述密封罩和所述工作台形成的密闭空间内，用于放置待充气容器；

所述抽放气口向外引出抽放气总管路，所述抽放气总管路上设置有总阀，所述总阀用于控制所述抽放气总管路的通断；所述抽放气总管路通过第一管路连通所述分子泵，所述第一管路上设置有抽气阀；所述抽放气总管路通过第二管路连通所述充气装置，所述第二管路上设置有充气阀；所述抽放气总管路上还设置有薄膜规和电离规，用于监测所述密闭空间内的真空度；

所述抽气口向外引出洁净度测量管路，所述洁净度测量管路上设置有洁净度检测阀，用于控制所述洁净度测量管路的通断；所述洁净度测量管路还连接所述洁净仪；所述温控器通过所述密封插座与所述温控工装的温度控制线路连接，用于对所述温控工装进行恒温控制。

进一步地，所述工作台为多个且并联设置。

进一步地，所述充气装置包括气瓶、过滤器和除湿器；所述气瓶的出气口经第三管路连接所述过滤器的进气口，所述第三管路上设置有减压阀；所述过滤器的出气口管路连接所述除湿器的进气口；所述除湿器的出气口经第四管路连接所述第二管路，所述第四管路上设置有调压阀。