[发明专利]一种定位治具及定位方法在审
| 申请号： | 201710828380.1 | 申请日： | 2017-09-14 |
| 公开（公告）号： | CN109507848A | 公开（公告）日： | 2019-03-22 |
| 发明（设计）人： | 黄红伍;逯正旺;赵学军 | 申请（专利权）人： | 凯茂科技（深圳）有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 深圳市智享知识产权代理有限公司 44361 | 代理人： | 蔺显俊;梁琴琴 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市光明新区公明街道合*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 定位件 玻璃盖板 第二定位槽 第一定位槽 掩模板 定位治具 定位组件 驱动件 距离相等 相对定位 相向设置 相向位移 准确定位 载物台 夹持 曝光 驱动 | ||
1.一种定位治具，用于定位玻璃盖板及掩模板以对玻璃盖板相对定位，其特征在于：包括载物台以及第一定位组件；
所述载物台用于放置待定位的玻璃盖板；
所述第一定位组件包括第一定位件、第二定位件以及第一驱动件，所述第一定位件和所述第二定位件设置于所述载物台第一方向的相对两侧；
所述第一定位件上设置有第一定位槽，所述第二定位件上设置有第二定位槽，所述第一定位槽和所述第二定位槽与所述载物台的距离相等，并在第一方向上相向设置；
所述掩模板夹持于所述第一定位槽或所述第二定位槽；
所述第一驱动件连接所述第一定位件和所述第二定位件，并驱动所述第一定位件和所述第二定位件同步相向位移，以与所述掩模板和玻璃盖板边缘接触实现在第一方向上的定位。
2.如权利要求1所述的定位治具，其特征在于：所述定位治具还包括第二定位组件；所述第二定位组件包括第三定位件、第四定位件以及第二驱动件，所述第三定位件和所述第四定位件设置于所述载物台第二方向的相对两侧；
所述第二驱动件连接所述第三定位件和所述第四定位件，并驱动所述第三定位件和所述第四定位件同步相向位移，以与所述掩模板和玻璃盖板边缘接触实现在第二方向上的定位；所述第一方向和所述第二方向相互垂直。
3.如权利要求2所述的定位治具，其特征在于：所述第三定位件上设置有第三定位槽，所述第四定位件上设置有第四定位槽，所述第三定位槽和所述第四定位槽与所述载物台的距离相等，并在第二方向上相向设置。
4.如权利要求3所述的定位治具，其特征在于：所述第三定位槽和靠近载物台一侧的槽壁处延伸出第三凸台；
所述第四定位槽靠近载物台一侧的槽壁处延伸出第四凸台；
所述掩模板在第二方向上定位时，所述第三凸台和所述第四凸台与所述掩模板面接触。
5.如权利要求1所述的定位治具，其特征在于：所述第一定位槽和靠近载物台一侧的槽壁处延伸出第一凸台；
所述第二定位槽靠近载物台一侧的槽壁处延伸出第二凸台；
所述掩模板在第一方向上定位时，所述第一凸台和所述第二凸台与所述掩模板面接触。
6.如权利要求5所述的定位治具，其特征在于：所述第一凸台和所述第二凸台远离载物台的面上设置有防滑胶垫。
7.如权利要求5所述的定位治具，其特征在于：所述第一凸台可相对所述第一定位柱在水平面上旋转。
8.如权利要求1-7所述的定位治具，其特征在于：所述第一定位槽靠近所述载物台的端面与载物台之间的间距为6-8mm。
9.如权利要求1所述的定位治具，其特征在于：所述第一定位组件还包括第一传动件；
所述第一定位件包括第一定位块和第一定柱；所述第二定位件包括第二定位块和第二定柱；
所述第一定位块和所述第二定位块与所述第一传动件连接，所述第一驱动件第一定位块或所述第二定位块同步位移；
所述第一定位柱和所述第二定位柱倾斜设置。
10.一种定位方法，用于实现玻璃盖板和掩模板的相对定位，其特征在于，包括步骤：
S1：将玻璃盖板放置于载物台上，并将掩模板夹持于第一定位件或第二定位件定位槽内。
S2：第一驱动件驱动第一定位件和第二定位件同步相向位移，在第一方向上与玻璃盖板和掩模板的相对边缘接触，并在第一方向上实现定位。
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