[发明专利]一种太阳能电池激光划刻线的缺陷检测系统及方法在审
| 申请号: | 201710828346.4 | 申请日: | 2017-09-14 |
| 公开(公告)号: | CN107481952A | 公开(公告)日: | 2017-12-15 |
| 发明(设计)人: | 孙朋超;莫品光;刘杰鹏;朱家宽;高锦龙;钟华良;蒋沈泽 | 申请(专利权)人: | 旭科新能源股份有限公司 |
| 主分类号: | H01L21/66 | 分类号: | H01L21/66;G01N21/88 |
| 代理公司: | 杭州九洲专利事务所有限公司33101 | 代理人: | 翁霁明 |
| 地址: | 314031 浙江省嘉兴市秀洲*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 太阳能电池 激光 划刻线 缺陷 检测 系统 方法 | ||
1.一种太阳能电池激光划刻线的缺陷检测系统,所述的缺陷检测系统包括:送料装置、检测装置、标记装置,其特征在于:
所述的送料装置用于输运定位待检测太阳能电池激光划刻线样品;包含输送单元和定位单元,所述的输送单元用于输运和卸载待检测太阳能电池激光划刻线样品;所述的定位单元用于跟踪定位待检测太阳能电池激光划刻线样品的位置;
所述的检测装置用于抓取捕获并处理待检测太阳能电池激光划刻线样品;包括:一用于固定待检测太阳能电池激光划刻线样品、减少抖动造成的识别误差的固定单元;一用于采集待检测太阳能电池激光划刻线样品图像的图像采集单元;一用于图像采集时补充亮度、提高图像清晰度及识别精度的照明单元;所述的图像处理单元将获取的扫描图像进行拼接并进行预处理,去除杂散光或其他杂点的影响;一数据处理单元通过数字图像处理技术比较已经完成图像处理的P1/P2/P3线的图像,计算出每条线的位置信息,与数据库对比,判断3条线的趋势;一数据输出单元用于根据数据处理单元给出的数据输出检测结果;
所述的标记装置用于根据所述处理结果在所述位置进行标记;它包含有打标单元,且打标单元与检测装置固定在一起。
2.根据权利要求1所述的太阳能电池激光划刻线的缺陷检测系统,其特征在于所述的缺陷检测系统还包含有由X轴单元及Y轴运动单元构成的运动装置,所述的检测装置及标记装置被固定于X轴单元的X轴上,且可沿X轴方向运动;所述的检测装置及标记装置在X-Y方向的平移运动是通过X-Y轴的平移来保证;
待检测太阳能电池激光划刻线样品进入检测系统先由固定单元进行固定,然后由图像采集单元进行拍照录取图像;所述的图像采集单元由面阵相机及相机镜头组成;图像采集单元录取的图像会输入至电脑端进行图像处理、数据处理及数据输出。
3.根据权利要求2所述的太阳能电池激光划刻线的缺陷检测系统,其特征在于所述图像采集单元的面阵相机、相机镜头与LED光源及激光打标装置均固定在同一块挂板上,且挂板固定在一线性导轨X轴上;线性导轨X轴在y轴方向的移动是通过线性导轨Y轴完成,从而保证面阵相机及激光打标装置在X-Y方向的平移;所述的检测装置和标记装置配置有将检测装置及标记装置罩住、用于遮挡外来光影响的防尘罩;所述的固定单元是一种吸附面板或平压机构。
4.根据权利要求1或2或3所述的太阳能电池激光划刻线的缺陷检测系统,其特征在于所述的图像采集单元为一CCD系统,包含高速面阵相机或线扫相机及镜头;所述照明单元为高亮度LED光源;打标单元是一种激光打标装置或喷码打标装置。
5.一种利用权利要求1或2或3或4所述缺陷检测系统进行太阳能电池激光划刻线的缺陷检测方法,其特征在于所述缺陷检测方法包含如下步骤:
a:输运单元输送待检测样品;
b:待检测样品到位之后,固定单元固定住待检测样品;
c:照明单元开启照明;
d:图像采集单元对待检测样品进行扫描取图;
e:图像处理单元将获取的扫描图像进行预处理,去除杂散光或其他杂点的影响;
f:数据处理单元根据比较P1/P2/P3线的位置信息,与数据库对比,判断3条线的趋势;
g:数据输出单元将不合格的线的位置坐标输出给打标装置;
h:打标单元在不合格的线的位置进行打标标记;
i:完成检测,输运单元将待检测样品运离。
6.根据权利要求5所述的太阳能电池激光划刻线的缺陷检测方法,其特征在于:在进行图像采集之前需要首先对系统进行校正;数据输出单元所输出的位置坐标仅需为Y轴坐标。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造





