[发明专利]一种多晶硅铸锭炉

说明书

技术领域

本发明涉及多晶硅生产设备技术领域，具体为一种多晶硅铸锭炉。

背景技术

多晶硅，是单质硅的一种形态，多晶硅是生产单晶硅的直接原料，是当代人工智能、自动控制、信息处理、光电转换等半导体器件的电子信息基础材料，被称为“微电子大厦的基石”，铸锭炉是专为太阳能工业设计的专用设备，是多晶硅铸锭的必需设备。

目前多晶硅铸锭炉大都采用氩气环流保护硅锭，氩气用量较大，造成资源浪费。

发明内容

(一)解决的技术问题

针对现有技术的不足，本发明提供了一种多晶硅铸锭炉，解决了目前多晶硅铸锭炉大都采用氩气环流保护硅锭，氩气用量较大，造成资源浪费的问题。

(二)技术方案

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种多晶硅铸锭炉，包括炉体，所述炉体内壁的顶部固定镶嵌有连接管，所述炉体内壁底部开设圆孔，圆孔内转动连接转轴，所述转轴的上端固定连接有导热块，所述导热块的上表面固定连接有坩埚护板，所述坩埚护板的内壁与坩埚的表面固定连接，所述坩埚护板的表面与大轴承的内壁固定连接，所述大轴承的外部固定套接有圆筒，所述圆筒的内壁转动连接扇叶，所述圆筒的表面开设有齿槽，所述齿槽啮合有齿轮，所述炉体内壁的一侧面固定连接有连接块，所述连接块的另一侧固定连接有三相异步电机，所述齿轮固定套接在三相异步电机输出轴的表面，所述圆筒的内壁开设有通孔，所述圆筒的内壁活动连接有活塞，所述活塞顶部开设穿孔的内壁与防水轴承的外壁固定连接，所述防水轴承的内壁与进气管的表面固定连接，所述进气管的表面与连接管的内壁活动连接。

所述炉体顶部开设小孔的内壁与圆杆的表面活动连接，所述圆杆的下端固定连接有支撑座，所述圆杆的表面活动套接有弹簧，所述弹簧的两端分别与炉体内壁的顶部和支撑座的上表面搭接，所述支撑座的内壁通过销轴活动连接有滚轮，所述滚轮与活塞的顶部搭接。

优选的，所述活塞的侧面固定连接有滑块，所述炉体内壁对应滑块位置处开设有滑槽，且滑块的表面与滑槽的内壁滑动连接。

优选的，所述通孔与滑槽相连通，所述滑块位于滑槽内壁的底部。

优选的，所述进气管的表面活动套接有橡胶垫，且橡胶垫位于进气管凸起部位的下方。

优选的，所述齿轮位于齿槽的中部，且齿槽的宽度等于坩埚在竖直方向运动的距离。

优选的，所述扇叶呈等腰梯形，且上底的长度为下底长度的五倍。

(三)有益效果

本发明提供了一种多晶硅铸锭炉，具备以下有益效果：

(1)、本发明通过设置圆筒、三相异步电机、通孔、活塞、进气管、弹簧和滚轮，进气管通入氩气，圆筒和活塞把坩埚与炉体隔开，减小有用空间，三相异步电机通过齿轮和齿槽带动圆筒转动，扇叶带动氩气环流，圆筒内气压增加到一定值后推动活塞向上运动，弹簧收缩，通孔与活塞下方的空腔相连通，圆筒内后通入的氩气纯度高且温度较低，位于圆筒内腔的底部，先通入的氩气在圆筒内存留时间长，纯度低且温度较高，位于圆筒内腔的上方，所以先通入的氩气更容易从通孔排出，然后圆筒内气压下降，弹簧推动活塞向下运动堵住通孔，达到防止氩气没有充分利用被排出的效果，降低了氩气用量，解决了目前多晶硅铸锭炉大都采用氩气环流保护硅锭，氩气用量较大，造成资源浪费的问题。

(2)、本发明通过设置连接管、大轴承、齿槽、三相异步电机、进气管和弹簧，多晶硅铸锭过程中为了受热均匀，会使坩埚转动和竖直运动，进气管的表面与连接管的内壁活动连接，坩埚在转动过程中大轴承使得圆筒与坩埚单独运动，齿槽具有一定宽度，不会与齿轮脱离，弹簧始终向下支撑活塞，使得坩埚带动圆筒竖直运动过程中不会影响充入氩气的充入与排除，达到硅锭的生产流程有条不紊的效果。

附图说明

图1为本发明正剖图；

图2为本发明图1中A处结构放大图；

图3为本发明图1中B处结构放大图；

图4为本发明扇叶左视图。

图中：1炉体、2连接管、3转轴、4导热块、5坩埚护板、6坩埚、7大轴承、8圆筒、9扇叶、10齿槽、11齿轮、12连接块、13三相异步电机、14 通孔、15活塞、16防水轴承、17进气管、18圆杆、19支撑座、20弹簧、21 滚轮、22滑块、23滑槽、24橡胶垫。

具体实施方式